ガラスと金属薄膜の密着性

質問

ガラスと金属薄膜の密着性に関する文献、論文を現在、探しています。
ガラス表面の粗さや金属薄膜の種類、膜厚に関しての制限はありません。
私なりにも探しているのですが、専門家でないため効率的に動けないのです。
こんなの知ってるよっていう方がいましたら、教えてもらえませんでしょうか？

回答No.1

inara · ベストアンサー

あまりに間口の広い質問なので、こちらも質問させてください。
hist2-3さんの調査目的は以下のどちらでしょうか。文献・論文という用語をお使なのでその方面の専門的知識をお持ちだと思います。

(1)卒論の序文を書くために、ガラスと金属薄膜の密着性に関してReviewしたい
(2)実際に作製するための調査

(1)の場合
金属膜の用途（フォトマスク・光学反射膜・配線）によって、金属の種類（単体・合金・化合物）、構造、膜厚、成膜法がさまざまあるので、その組み合わせの数だけ密着性の論文はあるはずですが、これを網羅的に調べるのは個人では難しいので、薄膜ハンドブック的なものでお調べになるほうが賢明です。「ガラス基板」と「密着性」と「蒸着」のキーワードで調べてみると、そのような書籍が結構あります（高価ですが）。Online Journal（有償）を利用できるのであれば、Review論文を探すのが手っ取り早いでしょう。

(2)の場合
全ての種類の成膜装置をお持ちではないと思いますので、薄膜の用途と使える成膜法をある程度限定しないとこちらも回答できません。密着性を優先したいのであれば金属の種類（積層構造）と成膜法はだいたい決まってきます。私はガラス基板上の金属膜形成の経験がありますが、全ての組み合わせを経験しているわけではないので、お答えできない場合もあります。

お礼

早速のご回答ありがとうございます。
たしかに間口の広い質問で回答される方に対しての配慮がたりませんでした。
私の目的といたしましては（１）の場合になります。
BK７光学ガラス上への金属薄膜の密着性に対しての密着性を議論する際の参考文献として探しています。
inaraさんのおっしゃるとおり、ハンドブックやJournalでキーワードを元に探していく方法が効率よく調べられそうですね。
ありがとうございました。