フッ酸耐性金属を探す！条件とは？
- フッ酸に耐性のある金属を探しています。合金や酸化物系ではなく、できれば純金属を希望しています。また、薄膜にした際に石英に密着が良い金属を求めています。
- Au・Ptなどはフッ酸に耐性があるかもしれませんが、石英に対して単層では密着力が足りません。PtOにすれば、密着は可能かもしれませんが、フッ酸に耐性があるかは不明です。
- フッ酸耐性金属を知っている方はいらっしゃいますか？ご教示いただけると助かります。
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フッ酸耐性金属
フッ酸に耐性のある金属を探しています。 条件は以下の通りです。 ?合金や酸化物系ではなく、できれば純金属 ?薄膜にした際に、石英に密着が良い金属。 Au・Ptなどは耐性があるかと思うのですが、 石英に対して単層では密着力が足りません。 PtOにすれば、密着は取れると思うのですが、 フッ酸に耐性があるか分かりません。 フッ酸耐性金属をご存知の方、ご教示いただけると助かります。
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タングステンかモリブデンはいかがですか。
フッ酸（ＨＦ）は、古くはガラス加工（ブラウン管の処理）や、半導体材の シリコンをエッチングする事に使用します。 因って、腐食性が強く、且つ皮膚や骨等への浸透性も強いので、“純金” でしょうか？ ここ数年で、約３倍に値上がりして、高価な材料がより高価に…。 小生は、金属の代わりに、フッ素樹脂をおすすめします。 硬度が要る場合は、4弗化以外に、2弗化や3弗化も検討して下さい。 また。『薄膜にした際に、石英に密着が良い＊＊』の内容は、テフロン コーティングが、石英にできます。 高頻度の物理的接触が有る場合には、剥がれてNGとなりますが、その場合 は、石英 ⇒ 樹脂に変更しても良いのでは？（耐熱性以外の条件では） フッ素樹脂のサイトは、以下に http://www.packing.co.jp/PTFE/ptfeindex1.htm http://www.md-fluoro.co.jp/html/hajimeni.html テフロン（フッ素）コーティングのサイトは、以下に http://www.y-skt.co.jp/sitemap.html http://www.ka-giken.com/tokusei.html http://www.valqua.co.jp/products/piping/fluorocarbon_p/lined_piping.html フッ素樹脂の物性表を追加します。 http://www.yohwa.co.jp/html/data/02.html
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