MEMSについて

質問

最近、”MEMS"と言う言葉をよく聞きます。
広い意味で使われているようですが、
これは、"微細加工"技術のことと思ってよいのでしょうか

お願いいたします。

回答No.1

First_Noel · ベストアンサー

微細加工と言うとメカニカルな切削も含まれてしまいそうなので，
「ＩＣ製造技術を用いた微細加工」と言う方が妥当です．
形状を転写したフィルムを使って，紫外線等あてて選択的に切削したり，
蒸着したりして作ります．

お礼

ありがとうございます。
よくわかりました。

回答No.2

Ta595

こんにちは。
MEMSというのは，Micro Electro Mechanical System(s)の略称です。日本ではマイクロマシンと言った方が一般には通りがよいかもしれませんね。
意味は，「半導体製造プロセス」を用いた「微小電気機械」およびその製造プロセス技術（微細加工技術）のことです。（「」内がキーワードになると思います）
ほぼ#1さんがおっしゃる通りですが，少しだけ補足させていただきました。

お礼

ありがとうございます。