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MEMSとLSIの関係について
MEMSについて興味のあるLSI設計者です。 MEMSとは、機械・電子・光・化学などの機能とLSIなどの電気信号(処理）を複合したもの、と捉えています。もし、このような理解で正しければ、LSI等のDigital部分にはマイコンなどが搭載されるということでよろしいでしょうか？ それとも、MEMSとは機械・電子・光・化学などの機能をLSIの微細化製造技術を用いて小型化したもの(Digitalな部分はない)なのでしょうか？ とりとめもない質問で申し訳ございませんが、 何卒よろしくお願いいたします。
- tetugakuno
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MEMSとはMicro Electro Mechanical Systemsの略で，半導体製造技術を用いて作った微小な「機械」です。 http://www.cqpub.co.jp/DWM/Contents/0078/dwm007800880.pdf http://www.signal.co.jp/vbc/mems/info/index.html 従って，一般にはマイコンなどは搭載されていません。 最近では組合わせる技術も開発されつつあるようです。 http://techon.nikkeibp.co.jp/article/NEWS/20080116/145440/
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