真空蒸着について

質問

真空蒸着において、蒸発した金属の気体は真空中では原子状態で存在するのでしょうか？イオン？

回答No.2

aokii

蒸発金属は昇華した粒子（原子・分子）です。活性化反応性蒸着では、イオン化したガスと蒸発金属を反応させます。

お礼

原子、分子状態なのですね。ありがとうございます。回答1の方もありがとうございます。

回答No.1

skydaddy

減圧化の加熱蒸発したものなので原子と考えられます。