真空チャンバでのオイルシール使用の問題

このQ&Aのポイント
  • 真空チャンバでオイルシールを使用してベースを上下に動かす際に問題が発生しています。
  • オイルシールは低真空環境でのシール性能について懸念されています。
  • 真空漏れの対応方法についても困惑しています。
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真空チャンバにおけるオイルシール使用

600×400×90Hの真空チャンバの中にある重さ約2キロのベースを上下に約40ミリ動かす際に、オイルシールを介してシャフトを上げ下げしようと考えています。真空は低真空です。オイルシールでシールは大丈夫でしょうか。 当方たいした知識もなく請け負ってしまいましたが、真空漏れの対応の仕方で困ってしまった次第です。

noname#230358
noname#230358

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noname#230359
noname#230359
回答No.1

オイルシールについては天下のNOKに聞きましょう。 駄目であれば2番手、荒井製作所です。 ところでどこのメーカーのオイルシールを使う予定ですか。 NOKを使わなければろくな返事来ないでしょう。 又、数個の使用量ではどうか。 オイルシールの代替品、グランドパッキンは如何でしょうか。 オイルシールは原則として1個、グランドパッキンは数個使用。 グランドパッキンはバルカー等々ありますので調べてください。 見方を変えると真空機器のパッキンに何を使用しているか確認してください。 低速であれば、まさかOリング? 真空器機専門のメーカーありますよ。 確認は数人で手広く早急に対応しないと夜眠れなくなりますよ。 出来るか出来ないかわからない仕事の受注は個人的にはノーサンキューですね。 高売り上げが待っている場合は別ですが。 がんばってください。吉報を待ってます。

noname#230358
質問者

お礼

早速ご連絡を頂き有難うございます。NOKに問い合わせのメールを送ってみました。回答を待ってみます。 NOKから回答が来ました。 オイルシールではシールが難しいらしく、NOKの設計が関るため当該図面等が必要になるそうです。特注になるのでしょうか、客先も、コスト高になるだろうから別の方法を考えましょう、ということになりました。 改めてベローズを使用したシールを考えてみたいと思います。 ご相談に乗って頂き心から感謝申し上げます。有難うございました。

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