出ガス（デガス）とは？
- 出ガス（デガス）とは、蒸着工程などにおいて発生するガスのことを指します。
- 蒸着工程では、材料が高温で加熱されることで、表面から気体状態へと変化し、ガスが発生します。
- この発生するガスのことを出ガスと呼び、デガスとも言います。
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「出ガス（デガス）」について
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真空装置の内面や、装置内部に持ち込んだワークの表面には、大気に含まれ たガス分子が吸着されています。これらの表面を真空に曝すと、この表面か ら吸着されたガス分子が飛び出して来ます。この現象を脱ガス(out gas, degassing) と呼びます。脱ガスの時定数は非常に長いので、到達真空度を 決定する重要な要素となります。 アウト ガスという呼び方も一般的でしょう。
その他の回答 (2)
小生もアウトガスで検索した方が、色々な資料が見つかると思います。 温度や気圧を変化させると、アウトガスが厄介です。 ですから、そのような性質の材料は原則使用できません。（使用しません）
お礼
ありがとうございました。
英語でdegass、degassesのことで、系内にある空気などのガスを抜くことですね。
お礼
理解できました。ありがとうございました。
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