シリコンウエハの穴あけ加工業者を探しています
- シリコンウエハ（ｔ＝約0.75ｍｍ）への穴あけ加工業者を探しています。穴径は、φ0.5ｍｍの貫通穴とφ3ｍｍのザグリ穴（0.4ｍｍ位）をあけます。
- 穴あけ後ウエハを高温（MAX1200℃くらい）にさらしますので、穴あけ時の歪み等が原因でウエハが割れてしまわないような後処理を同時に出来る業者を探しています。
- 要件は、シリコンウエハに対する穴あけ加工と同時にウエハの後処理も行える業者を希望しています。穴径はφ0.5ｍｍの貫通穴とφ3ｍｍのザグリ穴（0.4ｍｍ位）であり、ウエハは高温にさらされますので、歪みや割れが起こらないような技術と信頼性が求められます。
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シリコンウエハの穴あけ
シリコンウエハ（ｔ＝約0.75ｍｍ）への穴あけ加工業者を探しています。 穴径は、φ0.5ｍｍの貫通穴とφ3ｍｍのザグリ穴（0.4ｍｍ位）をあけます。 また、穴あけ後ウエハを高温（MAX1200℃くらい）にさらしますので、穴あけ時の歪み等が原因でウエハが割れてしまわないような後処理（焼きなまし、もしくはエッチング）を同時に出来る業者を探しています。
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参考になればいいいのですが。 以前100μｍ□程度の穴を0.38mmtのｼﾘｺﾝ基板に穴あけ加工をしたことがあります。その時は、ﾏｽｷﾝｸﾞしてKOHaqに加温して行いました。但し、かなり時間がかかります。精度が必要なければKOHを濃くすれば良いと思います。
本日、登録したばかりですので、既に解決しているでしょうか。 当社が懇意にしている会社で、超音波アシスト加工というのをやっているところがあります。ぜい性材に対し、高アスペクト比のマイクロホール加工をすることを得意としています。 ドリルに超音波を付加することで優れた切削加工ができます。熱処理も不要かもしれません。
- 参考URL：
- http://www.rix.co.jp/
どの程度の精度が必要かわかりませんが、ミクロンオーダーの精度が必要であれば、ＩＣＰドライエッチング装置（シリコンをエッチングする装置）とフォトリソグラフィ装置を利用すれば、加工可能かと思います。ただし、装置が高価なものなので、できるところは限られるかと思います。たとえば、県立の工業技術センター、あるいは、大学（東北大学ベンチャービジネスラボ、東京大学、名古屋大学あたり）で賃加工してくれるかもしれません。
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補足
助言ありがとうございます。ただし、上記方法ですと金額的、技術的に難しいものがあると考えられます。穴あけ精度等はミクロンオーダでないので特に問題がないため、現在ダイヤモンドドリルを使用して穴あけを試みております。 このとき、機械的歪み等が起こるか否か等についてはわからないでしょうか？たまに加工を行ったウエハが炉内でわれてしまう事があり、これが歪みのせいなのか？弊社で使用している炉の温度分布等の問題なのかの判断がついておりません。