マスフロートラブルについて

質問

お疲れ様です。
マスフロートラブルについて質問させて下さい。
マスフローにて流量制御を行っていますが、
流量指示が「0」なのに数リットルOUT側へ流れています。

どんな原因が考えられますでしょうか？
分かられる方教えて下さい。

回答No.1

lumiheart · ベストアンサー

具体的に何処のメーカの型番及び流量レンジは何でしょう
http://www.compoclub.com/products/recommend/mf/mf_products.html
http://www.tokyokeiso.co.jp/products/flow/09tmf_me/tf600/index.html

多くの流量計はゼロ付近の微少流量は計測不能です　＜計測範囲外
具体的に測定できない流量は何リットル／分以下なのでしょうか？

流量計メーカに確認しましょう
かなりの確率で計測範囲外と回答されると思う

例えばカタログ上の表記は
０～１００Ｌ／ｍｉｎであったとして
１．０Ｌ／ｍｉｎが正確に計測されるとは限らず　＜誤差が大きくなる
０．５Ｌ／ｍｉｎ以下の計測値は０．０Ｌ／ｍｉｎ表示されても珍しくない

お礼

ありがとうございました。