真空用チャンバーにおけるベーキングについて

質問

大学でイオン源を研究しているものです。最近チャンバーの真空の引きが悪くて困っています。約10^-6Torrのオーダではあるのですが、そこからもう一桁ほど低い真空度がほしいのです。チャンバーを閉めなおしてもさほど変わりがなく、ベーキングをしたいと考えております。そこでベーキングの方法を知っておられる方がいましたら是非教えて欲しいです。よろしくお願いします。またベーキング以外で真空を良くする方法があれば教えてホシイトおもいます。

回答No.2

kenntakunn · ベストアンサー

ベーキングの方法は使用されてるメーカーか又は代理店に聞かれるのが最も確実です。
その際使われてる排気装置の型名等を間違いなく提示してください。
たぶんメーカーはアルバックとかアネルバとかだと思いますので、サービス網もあったはずです。

又一般的な話ですが、チャンバーを電解研磨し表面からの脱離ガスを少なくするとか、フランジのガスケットをＯリングから銅にするとか、という事も考えてはどうでしょうか？

更にtorrは現在ＳＩ単位系統一の為Ｐａ表示が一般的ですが、真空計（特にセンサー）が悪いという事は考えられませんか？

回答No.1

First_Noel

初歩的なこととなので，恐らく大丈夫だとは思いつつ，
私，以前下記のようなことがありました．

大気中とのインターフェースを設けている場合，
導線やファイバの皮膜の間からリークします．

私は以前，真空度上がらない何故だ？，と思ってふと見ると，
光ファイバをインタフェースを介して直接チェンバ内に導入していたのですが，
そこからリークしていました．
そこにアロンアルファを垂らすとシュッと吸い込まれ，
中で固まったようで，それ以後は改善されました．

皮膜導線の場合は，インタフェースでは銅棒を使用します．

蛇足まで．．．