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漏れ検出にヘリウム
漏れ検出に使用されるのはヘリウムですが、どうしてヘリウムが使用されるようになったのですか?
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下記urlからの抜粋です。 (1)空気中に微量(5ppm)しか存在せず他のガスと区別しやすい。 (2)真空材料などからの放出ガス中にもほとんど含まれていない。 (3)分子直径が小さいため、小さな孔からもリークしやすく検出が容易。 (4)化学的に不活性で無害のため、製品の汚染がない。 (5)真空装置内の壁面やテスト環境に残存しにくいので繰り返しの使用に対してもバックグランドが低い。 http://www.jpo.go.jp/shiryou/s_sonota/hyoujun_gijutsu/semicon_vacuum_tech/2_8_1a.htm
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- jo-zen
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回答No.2
以下のURLを参考にしてみてください。 http://www.kek.jp/newskek/2006/sepoct/helium.html ◎ヘリウムは化学的に安定な物質なので、空気の物理的な特性の変化を見るのに影響を与えない。 ◎摂氏零度の空気中の音波の早さは秒速331mですが、ヘリウムの場合は秒速970mと約3倍であること(卑近な例だと人間の声がアヒルのような奇妙な声になる、あれです)で活用しやすい。 以上のような理由となります。