アルミニウムの耐シリコンガス性について
- アルミニウムはシリコンガスの影響を受けるのでしょうか？
- アルミニウムはシリコンガスによってどのような影響を受けるのでしょうか？
- アルミニウムとシリコンガスの関係について教えてください。
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アルミニウムの耐シリコンガス性について
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シリコンガスって、モノシランとかジシランあるいは四フッ化ケイ素のことでしょうか？ 答えになるような知見はありませんが、Ｓｉはある種の金属と反応してシリサイドをつくります。 Al-Siのシリサイドもあるようですが、実際にどんな条件で反応するかは知りません。 私の経験では、SiH4雰囲気下のタングステンヒーターが高温でW-Siのシリサイド化してポロポロに劣化したことがあります。
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