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クリーン度測定について

クリーンルームのクリーン度を、レーザーパーティクルカウンタで測定しようと思っています。 0.5μm以下が立方フィートにどれくらいあるかを測定しようと思ったのですが、 何秒測定するのが、正式なやり方なのでしょうか? 宜しくお願い致します。

みんなの回答

  • bono223
  • ベストアンサー率31% (71/224)
回答No.1

手元にちゃんとした資料がないのですが、測定時間は、パーティクルカウンタの吸引性能(単位時間当たりの吸引量)によるので一概に言えません。正式な測定方法では、最小の吸引量が決められています。確か、0.1立方フィート以上吸引することが必要だったと思います。つまり、1分間に 0.1立方フィート吸引できるパーティクルカウンタの場合は1分間、1分間に 0.01立方フィート吸引できるパーティクルカウンタの場合は10分間の吸引が必要ということになります。正確な情報でなくて、申し訳ありません。

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