クリーン度測定について

質問

クリーンルームのクリーン度を、レーザーパーティクルカウンタで測定しようと思っています。
0.5μm以下が立方フィートにどれくらいあるかを測定しようと思ったのですが、
何秒測定するのが、正式なやり方なのでしょうか？
宜しくお願い致します。

回答No.1

bono223

手元にちゃんとした資料がないのですが、測定時間は、パーティクルカウンタの吸引性能(単位時間当たりの吸引量)によるので一概に言えません。正式な測定方法では、最小の吸引量が決められています。確か、0.1立方フィート以上吸引することが必要だったと思います。つまり、１分間に 0.1立方フィート吸引できるパーティクルカウンタの場合は１分間、１分間に 0.01立方フィート吸引できるパーティクルカウンタの場合は10分間の吸引が必要ということになります。正確な情報でなくて、申し訳ありません。