平面度（真直度）の測定

質問

納入されたアルミの鋳物の機械加工を行なった面（平行度2/100）の真直度をオートコリメーター（客先指示）にて測定したのですが、100ミクロン下に凸というデータが出てしまいました。そこで、3次元測定機で測定したところ、上に40ミクロンの凸というデータがでてしまい混乱しています。そこで、質問なのですが、オートコリメーターの読みをμｍに変換する際、Δｈ＝L*sinθの公式を使っています。θが読み、Lが反射鏡のピッチです。このとき、読みのプラス、マイナスをそのまま使っているのですが、これは実際の傾きとは逆になるのでしょうか。データもお渡しできます。どうかアドバイスください。よろしくお願いします。

回答No.1

noname#230359 · ベストアンサー

オートコリメータは取り扱いの難しい測定器です。傾斜テーブルや水準器などを使ってオートコリメータ自身のキャリブレーションを行うことをおすすめします。
　微少角度変位の測定は信頼性が問題（もちろん十分に訓練されれば良いのですが）なので、複数の方法で測定し、結果が一致することで信頼性を得ようと考えられたことは正しいと思います。
　三次元測定器の場合は、測定器の温度と被測定物の温度に違いがある場合は必ず測定誤差が出ます。両者が同じ温度になるよう、被測定物を三次元測定器の定盤の上に一晩放置して、十分温度の平衡を得た上で測定しなければ正確な値を見ることはできません。
　恥ずかしい話ですが、私たちも、測定するたびに違うデータに混乱することがありました。このときは、たまたまゼロデュア（熱膨張係数極小）製のポリゴンミラーの部品（反射鏡）があったので、その平面を基準としてキャリブレーションすることができました。
　ぶしつけな物言いかもしれませんが、もう一度、温度等の測定環境や、熱平衡のための時間をもうける、十分わかっている平面によるキャリブレーションなど、基本的なところを確認されてはいかがでしょうか。

お礼

大変ありがとうございました。
測定に関して理解が不足していました。
今後は充分注意して行ないます。
ありがとうございました。