漏れ検査の比較

質問

お世話になります。
現在、同一ワークにて2種類(加工前後）の漏れ検査を行なっています。一方は、真空でHeディテクタを使用する測定、他方は密封したワークを水中に入れて圧力をかけ、気泡を目視で行なう(石鹸等は塗っておりません)というものです。
この際に、真空でのHeを使用した場合の漏れ量が、水中でテストした際のどの程度に相当するかが分かっていません。
このように条件の違う試験での相関はとれるのでしょうか？

回答No.2

noname#230359

Heリークディテクタは真空容器の外部にHeガスを噴きかけ、真空容器内のHeガス濃度を高感度の質量分析計にかけて検出し、He標準漏れ検体との比較によって漏れ量を定量的に測定する装置です。
Heガスは非常に小さな間隙も通過するので、微笑な漏れを測定するのに適した検出方法です。
それに比べ、水中加圧法は気泡を目視できるほどに成長させるような比較的大きな漏れの有無を検知する方法で、漏れ量はSCLさんのご指摘の通り水深、加圧圧力等によって変わり、部位によっては目視しずらいことも考えられるので漏れ量を定量的に求めるのは不適切だと思います。
従って、両者の相関性をとることは難しいように思います。
容器とHeリークディテクタの間にニードルバルブを設け、実質的にHeリークディテクタの感度を下げて測定する方法もありますが、真空容器側とリークディテクター側にそれぞれ真空計を入れて両者の圧力比を確認しなければなりません。
最近は大きな漏れにも対応したリークディテクタが開発・発売されているようですし、産業界からは大きな漏れに対する定量測定の要望も大きいので、被測定物に特化した装置として個別に対応してもらえる可能性があります。
以下のURLにてHeリークディテクタの項をご覧ください。
http://www.ulvac.co.jp/
http://www.anelvatx.jp/index.html
http://www.varianjapan.com/vacuum/index.html

お礼

実際に試したのですが、やはりHeリーク式試験機でNGとなったもの(微小漏れ）は、水没式では測定不可に近い結果となりました。
アドバイスありがとうございました。
お礼が遅くなってしまい申し訳ありませんでした。

回答No.1

noname#230359

気泡を目視確認していくつかの見本を設定して、リークディテクタに持っていきそれを測定するのが一番だと思います。　空圧、水没深さ、防錆剤使用量等により、その関係は自分で作るしかないですね。

お礼

実際に試したのですが、やはりHeリーク式試験機でNGとなったもの(微小漏れ）は、水没式では測定不可に近い結果となりました。
アドバイスありがとうございました。
お礼が遅くなってしまい申し訳ありませんでした。