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Siを主成分として含む酸化物で、誘電率が高い物質は

2015/11/19 21:42

Siを主成分として含む酸化物で、誘電率が高い物質は何がありますか？

toshi5750
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化学
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shintaro-2
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2015/11/20 06:49 回答No.1

>Siを主成分として含む酸化物で、誘電率が高い物質は何がありますか？一般にはSiON膜ですがそもそも誘電率が高いというのはどれくらいを意図されています？

質問者

補足 2015/11/20 12:55

ありがとうございます。誘電率が高いというのは30以上くらいを意図してます。

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