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インゴット一個で何枚のウエハが取れますか？
ohkawa3の回答
- ohkawa3
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ウエハの厚さは、直径が大きいほど厚くする必要がありますが、φ30mmならば、0.28mm程度でしょう。 https://doujinsangyo.jp/product/silicon.html?yclid=YSS.1000259315.EAIaIQobChMIvayq0b2AhgMV8At7Bx08mAeLEAAYAiAAEgJYefD_BwE インゴットからウエハをスライスするために使うワイヤーの径は、φ0.14∼0.16 mmのようです。 https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/73/1/73_1_61/_pdf/-char/ja 製品の厚さと、切断で失われる分を加えて、ウエハ1枚当たり少なくとも0.28mm＋0.16mm＝0.44mm程度のインゴットの厚さが必要です。長さが1000mmのインゴットから採れる枚数は、1000mm÷0.44mm/枚≒227枚程度が理屈の上での最大値と想定できます。 現実には、スライス後に研磨して平滑化しますから、研磨で失われる厚さも加味する必要があるので、最大200枚程度ではないでしょうか。
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