- ベストアンサー
SMC洗浄について
半導体装置に使用する部品の洗浄方法について、ＳＭＣ洗浄という方法があると聞いたのですが、これはどの様な洗浄方法なのでしょうか？ＲＣＡ洗浄とはかなり違う洗浄方法なのでしょうか？どなたか教えて頂ければ幸いです。
- akanen
- お礼率100% (1/1)
- その他([技術者向] コンピューター)
- 回答数1
- ありがとう数1
- みんなの回答 （1）
- 専門家の回答
質問者が選んだベストアンサー
http://www.san-ai-oil.co.jp/sanai_plant/index.html ↑コレかなぁ。 要は洗浄液に従来の溶剤とかを使わず、純水やオゾン水を使用するみたいですけれども 上記のサイト見て懐かしく思いました 私が洗浄器製ってたころはフロンオンリーでしたもんねぇ 毎日一缶は蒸発させてましたわ（笑）
関連するQ&A
- 部品洗浄について
現在、半導体装置に装着されている部品(サイレンサー)の洗浄依頼を受けていただける会社を探しております。半導体製造工程に使用するガスは、塩化系ホウ素ガスなどです。 洗浄方法としては、純水で洗浄、乾燥です。 部品は、かなり重く、総重量は約200kgぐらいです。 関東で、その様なところを紹介して頂けますでしょうか？ 宜しくお願い申し上げます。
- 締切済み
- その他（電子・半導体・化学）
- 洗浄について御教授願います。
宜しくお願いします。 自動車のエンジンの外装部品なのですが、型で出来てきた物で出来上がってきた物を洗浄する装置を検討しているのですが、部品の内部が蟻の巣みたいになっており、どの様に洗浄すればいいか悩んでしまっています。溝とか孔とか貫通していればなんとかなりそうですが入り組んで行き止まりの溝とかもあります。どの様な洗浄方法が適切なのか、ヒントでも教えて頂けると幸いです。 宜しくお願い致します。
- ベストアンサー
- 製品設計
- 半導体部品、半導体製造装置とは
半導体製造装置とは、半導体部品（トランジスタなど）又は半導体装置の製造装置のことですよね。 だとしたら、なぜ、「半導体部品（又は半導体装置）製造装置」といわないで、 「半導体製造装置」と言っているのでしょうか？
- ベストアンサー
- 物理学
- 半導体製造装置の部品の「再生」とは
半導体製造装置の文献を勉強しているのですが、半導体製造装置の部品を洗浄して「再生」(regeneration)するとか、半導体製造工程の材料(シリコンのインゴットなどのこと？)を「再生」(regeneration)するという言葉が出てきます。 この場合の「再生」(regeneration)とは、どういう意味でしょうか？
- ベストアンサー
- 物理学
- シリコンの洗浄について教えて下さい。
シリコンの洗浄方法といえばRCA洗浄が有名ですが、 この方法では有機物などゴミ類は除去出来ると思うのですが、 ラフネスはどうなのでしょうか？ 出来るだけ平坦なシリコン基板を用意したい場合どういった洗浄方法を行えば良いのでしょうか？
- ベストアンサー
- 科学
- 半導体の洗浄剤を教えて下さい
初めまして、興味本意で申し訳有りません。 半導体を製造する過程で使う洗浄剤について教えて下さい。 商品名、販売元、価格、使用量などなど
- 締切済み
- その他（電子・半導体・化学）
- PS2がって基盤洗浄しても平気ですか？
PS2がって基盤洗浄しても平気ですか？ 電源を入れても一発でつかないんです でも夏とかは早めにつくし、そうでなくても時間がたてばつくので半導体に問題があるんだろうなぁと思いました なので暖めてみようと持ったのですが埃が多すぎで不安なので洗浄したいのですがPS2って大丈夫なんですかね？ あと、PS2が一発でつくようになる方法を知っていたら教えてください とりあえずは基盤洗浄してもOKかどうか教えてください ちなみに50000型です
- ベストアンサー
- プレイステーション
お礼
早々のご返事ありがとうございました。 私も三愛のURLを見ていました。 SMCはどんな略語なのでしょうか？ RCA洗浄と同じく、SMC社（昔の焼結金属）がやり始めた洗浄方法が広くSMC洗浄として使われることになった のでしょうか？ お分かりになれば教えて頂けませんか？
補足
早々のご返事ありがとうございました。 私も三愛のURLを見ていました。 SMCはどんな略語なのでしょうか？ RCA洗浄と同じく、SMC社（昔の焼結金属）がやり始めた洗浄方法が広くSMC洗浄として使われることになった のでしょうか？ お分かりになれば教えて頂けませんか？