流量特性

質問

不躾な質問ですみません。写真に記載されている、「ポンプ上流は低圧なので」と記載されていますが、ポンプ上流はどうして低圧とわかるのでしょうか？

またこのリニア特性やEQ特性などの流量特性ですが、特に調整弁を作ろうと言うわけではないのてますが、単に市販の調整弁を組み合わせて使う場合、調整弁の使用場所や調整弁の種類によって、リニア特性かEQ特性になると言う解釈で宜しいのでしょうか？

回答No.4

MT765

一応半導体製造装置関係の端くれの者です。

＞ポンプ上流はどうして低圧とわかるのでしょうか？
例えば真空ポンプでチャンバーを「引く」場合、チャンバーの排気側にポンプを付けてチャンバー内を真空にしますよね。
チャンバーはポンプから見たら上流側ですから上流が低圧ということになります。
言い換えれば真空装置でのポンプは「上流側を低圧にする機械」ということです。

＞調整弁の使用場所や調整弁の種類によって、リニア特性かEQ特性になると言う解釈で宜しいのでしょうか？
基本的にEQ特性を使う場面のほうが多いですが画像のようなミニフローラインに使うのであればリニア特性のほうが適しているという事です。

言い換えると使う場所に応じてEQ特性かリニア特性のバルブを選定して使う、ということです。

回答No.3

lumiheart

https://yuruyuru-plantengineer.com/control_valve-flow-characteristics-eq-linear/
「EQ％特性が選定される場合」
「リニア特性が選定される場合」
って書いてあるじゃん？

回答No.2

ohkawa3

ポンプとは上流に対して圧力を増加させて下流に押し出す作用をもつ流体機械なので、ごく自然な表現と思います。

回答No.1

hahaha8635

調節弁の２次側の大気圧解放　←　解放されてるので圧力はかからない
または　低圧　←　低圧と言い切ってる状態
の成り立つ場合についてのみ　限定条件

ポンプ吐出部で先に回路がついてるとこは　違う