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高周波電源とプラズマ
私の会社に高周波電源を用いてプラズマを発生させ、プラズマ重合というものにより薄膜を形成する装置があります。その装置にマッチングBOXなる機器があるのですがその役割をわかり易く説明してください。自分では勝手に、電線の抵抗RとマッチングBOX内のバリコンのリアクタンス分Xcをマッチさせて効率を良くするものだと考えています。よろしくお願いします。
- dojyo5492
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#2です。 「インピーダンスをマッチングさせる為の箱」との事です。 そのまんまですが、役割はやはりプラズマの状態(負荷)に合わせて自動追従する様になっててコントローラーも繋がってるはず。 定常時の負荷特性が判ってるのならコントローラーなしの決め打ち(運転しながら調整)でも特に問題ないらしい。 が、電源がへたれな設計だと電源側が逝くかもしれないらしい。 無線の送信機でインピーダンスが合わないと反射波が大きくなって電力ロスが大きくなる。あまり外すと終段が加熱保護停止するとか下手すると終段が逝く。 これを改善するのと同じ役割との事。 VSWRでネット検索すれば、プラズマを負荷と見立てて役割としては理解できるかと思います。
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- POWERVAULT
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#2です。 何なのか気になって夜も眠れないというのであれば、知り合いに聞いてみますよ。 用途は知らないけど確かRF電源も設計してたはず。
- POWERVAULT
- ベストアンサー率39% (573/1467)
それは一般的にはスパッタ成膜という装置では。 供給電源はDC,MF,RFと色々ある様です。 私は詳しくは無いですが、RF故に無線機の様にインピーダンス整合が必要になるはずです。 電線のRもあるかもしれませんが、プラズマ化してる負荷のインピーダンスも影響してる様な気がします。自信なし・・・ 負荷に追従して動作する様な構造の様に思えたから。 電源としては海外製の物は見かけた事があります。 (マッチングBOXとセット) メーカーの名前は忘れた・・・
- 486HA
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呼称が「マッチングBOX」というだけでは見当がつきません。 正確な機器構成と機番を明らかにしてください。 (おそらく、公表は社内の禁止事項に抵触すると思われますが。) 企業の基幹にかかわる問題についての問い合わせは、ここではなじまないと思われます。 また、カテゴリー違いだと思われます。 なお、「バリコンのリアクタンス」とは「バリ・コンのキャパシタンスのリアクタンス」が正確な言い方であると思われます。
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お礼
どうもありがとうございました。なんとなくわかりました。