RF（高周波）電源の原理

質問

発振周波数13.56MHzの自励発振方式の高周波電源を用いてプラズマを発生させ、プラズマ重合というものにより薄膜を形成する実験を行っているのですが、自励発振方式、進行波、反射波、マッチングBOXなどわからないものが盛りだくさんです。高周波電源、RF電源で検索にかけてもヒットするものはなく、図書館でもキーワード「高周波電源」では本が出てこないです。高周波電源の原理に関する文献などありましたら紹介してください。よろしくお願いします。
（装置のマニュアルにも原理はありませんでした）

回答No.3

ymmasayan

No.2のymmasayanです。

「自励発振」という言葉と「高周波電源の原理」という言葉に惑わされて
的外れの回答をしてしまったようです。

発振方式には自励式と水晶式、ＰＬＬ式などがあり、一方電源としては自励式と他励式が
あります。
同じ自励式という言葉でも意味がぜんぜん違います。発振周波数13.56MHzということは
水晶発振による自励式電源ですね。
ここでいう自励式電源とは発振回路を内蔵している電源のことです。
他励式というのは他の装置（発振回路）から信号をもらって増幅器だけを持つものを
いいます。

＞高周波電源、RF電源で検索にかけてもヒットするものはなく

Googleで「高周波電源」で約１３００件、「高周波電源　マッチング」で
約１２０件ヒットします。１例を参考ＵＲＬに記載します。

「進行波、反射波、マッチング」は無線機とケーブルとアンテナに関するものが
詳しいと思います。又No.2の参考ＵＲＬで紹介した書籍にも第１章に載っています。

少し難しいですが下記ＵＲＬ
http://www.mogami-wire.co.jp/paper/tline/tline-01.html
の　5. 定在波　6. リターンロスと反射損失
のところにも「進行波、反射波、マッチング」の話が載っています。

参考URL：

http://www.thp.co.jp/rf_pro/matching.htm

お礼

詳しいご解説ありがとうございます。高周波電源での検索では、自分のほしい情報にたどり着けないだけでした。参考文献も手に入りそうですし、あとは自分で調べます。ヒントの数々に感謝いたします。」

回答No.2

ymmasayan

参考ＵＲＬの書籍の第３章のハートレー型およびコルピッツ型ＬＣ発振回路が
それにあたると思います。

余りわかりいいホームページがありませんが、ひとつだけ紹介します。
・発振回路の原理
http://www.madlabo.com/mad/edat/DipMeter/oscgenri.htm

Googleで「ＬＣ発振回路　原理」で検索してみてください。書籍も結構ヒットします。

参考URL：

http://www.cqpub.co.jp/hanbai/books/30651.htm

回答No.1

bttf2003

入力電圧・出力電圧・出力電流は、どのような数値を考えていらしゃいますか？ たぶん ＡＣ－ＡＣコンバーターを使うのでしょうが、出力容量・特性がわからないと、正確な答えはできないでしょう。自励発振方式ということは、クリスタル発振器を使い、高周波増幅して出力するのが、一般的だと思います。

お礼

ありがとうございます。詳細な説明がなく申し訳ありません。

補足

装置について詳しく書きますと、プラズマCVD装置というものの中の一部分として高周波電源が存在しています。昭和57年ぐらいに作られた古いものです。仕様を見ますと
入力：AC200V 1φ　50/60　800VA
出力：300W （VSWR2.5以下）

となってます。

回路は

AC200V→SCR→高圧電源→RF電源→RF出力→マッチングBOX→ターゲット
　　　　　　↑　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　↓
　　　　SCRゲート回路←制御AMP←←←←←←←←←←←←←←←←←←

のようです。