time_is_moneyのプロフィール
@time_is_money time_is_money
ありがとう数1
質問数3
回答数1
- ベストアンサー数
- 0
- ベストアンサー率
- 0%
- お礼率
- 16%
- 登録日2003/01/05
- アルミ蒸着膜のエッチング液について
Al蒸着膜をフォトリソグラフィーでエッチングしたいのですが、エッチング液は何を使ったらよいのでしょうか? Al膜は抵抗加熱蒸着で成膜し、膜厚は1ミクロンぐらいです。 アンダーカットは極力小さくしたいです。 塩酸では反応が進まず(表面の酸化膜のためかもしれません)、硝酸を1/4~1/3混ぜたところ、Al膜がフォトマスクごと全部はがれてしまいました。 どなたか、お知恵を拝借ください。