pupupurururuのプロフィール @pupupurururu pupupurururu ありがとう数0 質問数0 回答数1 ベストアンサー数 0 ベストアンサー率 0% お礼率 0% 登録日2012/10/11 最新の回答 ラジカル F* 化学は素人です。 エッチングに関する文章に、CF4、SF6、プラズマという用語に混じって 「F*」が出てきます。 これはFラジカル(フッ素ラジカル)でしょうか? アスタリスクがラジカルを意味するのでしょうか? よろしくお願いします。 締切済み manmanky 化学 回答数4 2011/03/01 00:10 質問者をブロックしているため、非表示になっています。 質問を表示する もっと見る