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必要精度の決め方
１軸上下ステージ上にセットした計測対象の上面変位を１０ｎｍ以下の繰返し精度を持って測定したいのですが、このステージの必要繰返し精度は、どのあたりに妥当性があるか教えて下さい。また、その根拠も教えて下さい。 ちなみに上面変位を測定するものは、レーザ変位計で、測定分解能は１０ｎｍです。計る物の分解能が、１０ｎｍしかないため、現実的に不可能かもしれませんが、ステージの繰返し性を決める上で、重要な要素だけでも結構ですので、何かアドバイスをよろしくお願いします。
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質問者が選んだベストアンサー
通常は要求仕様の半分以下の測定を目指すのではないでしょうか。10nmの半分で5nmは必要だと思います。 また、制御にはおっしゃられている精度のほかに確度（真値に対する正確さ）、感度（位置がずれたときに反応する値）などのパラメータもあるのであわせて考慮された方がよいと思います。
その他の回答 (2)
- ymmasayan
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No.2のymmasayanです。補足にお答えします。 >倍以上の精度が必要な理由は、サンプリング定理みたいな感じなのでしょうか？ 法則とか定理というよりは、先生は生徒よりも２倍以上知っていないと話にならない という感じでしょうか。 論理的な説明が出来ないのがつらいですが。
お礼
回答ありがとうございました。 そうですよね、ここの精度決めは、いつも悩む所です。
- ymmasayan
- ベストアンサー率30% (2593/8599)
普通計測器を校正する場合、標準側は校正されるものに比べて倍以上の精度を持つことが要求されます。 それと同じで誤差１０ｎｍで測定しようと思ったら測定器の精度は５ｎｍはないと測定不能では。
お礼
回答ありがとうございました。 倍以上の精度が必要な理由は、サンプリング定理みたいな感じなのでしょうか？
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お礼
早速の回答ありがとうございました。 どうして、半分以下なのでしょうか？具体的に何か法則みたいなものがあるのでしょうか？