• 締切済み

セラミックパッケージに入れる半導体チップにはポリイミドは必要なのでしょうか?

半導体ウエハープロセスの勉強をしています。 ウエハープロセスの最後にポリイミド成膜と言う工程があり、目的は”パッケージング工程で使用するモールド樹脂とウエハーから切り出したチップとの間の剥がれを防止する為”とありました。それならば”モールド樹脂を使用しないセラミックパッケージにはポリイミド成膜は不要なのでは”と思ったのですが、正解でしょうか?かなり専門的な質問ですがご存知の方教えてください。

みんなの回答

  • a0832669
  • ベストアンサー率30% (45/148)
回答No.1

誰も答えていませんので、一応、携わっていたものから回答します。考え方によっては最後の保護膜生成行程は不要です。実際にそういうプロセスもあったと覚えています。保護膜はボンディングパッドのところは生成してません。前工程でのテストをしたり、リードフレームに金でつなぐために空けています。大した回答ではありませんが、お役に立てたなら幸いです。

waka1105
質問者

お礼

ご解答ありがとうございました。

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