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アルゴンスパッタのスパッタレートに関して
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- zze122-runx
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- leo-ultra
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スパッタはArイオンと試料を構成する原子との多重散乱で起こります。 Arイオンが試料中に打ち込まれ、別の原子をある方向へ弾き飛ばし、 その原子が別の原子を弾き飛ばし．．．、それでたまたま、試料表面から外へ弾き飛ばされた原子がスパッタされるわけです。 有機物は構成元素が軽めですし、密度も低めなので、Arイオンは奥の方へうちこまれます。深い部分で原子を弾き飛ばしますが、深いためになかなか表面まで弾き飛ばされる原子が少ないので、スパッタ率が小さくなります。
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