半導体の結晶方位の特性とは？
- 半導体用ウエハで求められる結晶方位の特性についてまとめました。
- 結晶方位には100、110、111などの違いがありますが、それぞれどう異なるのでしょうか？
- 結晶方位によって半導体の性能や特性に影響を与えることがあります。
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半導体の結晶方位について
シリコンウエハをはじめとする半導体用ウエハで結晶方位を仕様として求められますが、 結晶方位はどのような特性に効いてくるのでしょうか？ 100、110、111などでどのように異なるのでしょうか？ 勉強不足で申し訳ありませんが、教えて下さい。
- horiokwaveid
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- TIGANS
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いろいろな特性に効いてきますが、一番顕著なのはエッチング特性です。 エッチング液によっては異方性エッチングといって(111)面に沿ってエッチングを進ませる事ができるためきれいにそろった斜面や四角錐などを作ったりすることが出来ます。 https://xtech.nikkei.com/dm/article/WORD/20090420/169046/ また、キャリアの移動速度や不純物イオンの打ち込み深さも結晶方位で影響を受けるため半導体の生産には結晶方位の管理は大切な仕様になります。
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