• 締切済み

シリコンウェハの結晶方位

シリコン基板が（100）面でカットしてあるシリコンウェハがあるとします。 (1)の方向のように、オリフラ方向からシリコンウェハの側面を見た場合、 結晶面（ミラー指数）はどのように表されるでしょうか？ 同様に、オリフラ以外の方向（(2)～(8)からシリコンウェハの側面を見た場合、 結晶面（ミラー指数）はどのように表されるでしょうか？ また、シリコンウェハの側面から見たとき、 シリコン原子が最も多く見えるミラー指数はどのように表されるでしょうか？ いびつなAAで申し訳ありません。 また、質問も多く、申し訳ありません。一部の回答でも歓迎です。 回答の根拠となるwebページを紹介されても結構です。 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　↓(4) 　　　　　　　　　　　　　　 _,,.. -──‐- .、.._. 　　　　　　　　　　　,. ‐''"´　　　　　　　　 　 ｀`'‐.、 (5)　　　　　　 　 ,.‐´　　　　　　　　　　　　　　　　　｀‐.、　　　　　　　　(6) 　 　 　 　 　 ／　　　　　　　　　　　 　 　 　 　 　 　 　 ＼. 　　　　 　 ,i´　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　 　　 　 `:、 　　　 　 /　　　　　　　　　　　　　　　　　 　 　 　 　 　 　 　 ヽ. 　　　　,i　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　 　 　 i、 　　　 .i　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　　　　　　　　　　　　　　　　 i. 　　　.i　 　 　 　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　l (2)　　|　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　 　 　 　 |. →　　|　 　 　 　 　 　 　 　 　　　　　　　　　　　　　　 　 　　　 　 |　　←(3) 　　　|　 　 　 　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 | .　　　l　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　 　 　 l. .　　　 i、 　 　 　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　 ,ｉ .　　　　i、 　 　 　 　　　　　　　　　　　　　　　　 　 　　　　　　,! (7)　　　ヽ 　　 　 　 　　　　　 　 　　　　　　　　　　　　　　　　/　　　(8) 　　　　　 `:、 　 　 　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　,‐'　　　 　 　 　 　 　 ＼＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿／ 　　　　　　　　　　　　　　　　　　↑(1)

みんなの回答

  • shintaro-2
  • ベストアンサー率36% (2266/6244)
回答No.3

>シリコンウェハの表面から見た方位しか書いていないようですが・・・。 下にある110だと思ったのですが そうでないにしても、１００と１１０があればオリフラの面指数もでるのでは？ 最近計算してないので出し方すら忘れました　^_^;

  • wata717
  • ベストアンサー率44% (72/161)
回答No.2

私は老人でオリフラという日本語がわかりません。図もよくわかりません。RHEEDの回折パターンでしょうか。 どちらにしても結晶方位はX線回折の本に記載のステレオ投影で完全に記述されます。

  • shintaro-2
  • ベストアンサー率36% (2266/6244)
回答No.1

wikipediaに方位が記載されています。 http://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%82%B7%E3%83%AA%E3%82%B3%E3%83%B3%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%8F%E3%83%BC

neutron
質問者

補足

シリコンウェハの表面から見た方位しか書いていないようですが・・・。 どこに側面から見た方位が書いていますか？ （結晶は専門外でよくわかりません。）

  1. カテゴリ
  2. 学問・教育
  3. 自然科学
  4. 物理学

関連するQ&A

  • シリコンウェハの結晶の方向指数

    単結晶シリコンウェハには(100)、(110)、(111)面の面方位のウェハがありますが、例えば(100)面のウェハの方向指数？<100>、<110>方向（原子から原子までの距離の違い？）がわかる方法というのはあるのでしょうか？ また、(110)、(111)面のウェハでも方向指数がわかる方法はあるでしょうか？ できれば、教えていただきたいです。 参考になるサイトなどがあればURLでも結構です。 よろしくお願いします。

  • 単結晶シリコンの結晶方位

    単結晶シリコンウエハは片面鏡面や両面鏡面のものがあります。また、その一部には、結晶方位をそろえるための（オリエンテーション）フラットやノッチというものがつけられています。 そこまではわかるのですが、それはどの方向についているのでしょうか？ケースを見ても軸が<100>などと書かれていますが軸って何でしょうか？ できれば、教えていただきたいです。 参考になるサイトなどがあればURLでも結構です。 よろしくお願いします。

  • 半導体の結晶方位について

    シリコンウエハをはじめとする半導体用ウエハで結晶方位を仕様として求められますが、 結晶方位はどのような特性に効いてくるのでしょうか？ 100、110、111などでどのように異なるのでしょうか？ 勉強不足で申し訳ありませんが、教えて下さい。

  • ダイアモンド構造結晶について

    ダイアモンド構造のシリコン結晶をとある面から二次元的に投影したとき、 投影面中を充填する格子の割合が最大となる面（ミラー指数）は何でしょうか？ また、その時の二次元的な充填率はいくらでしょうか？ どちらかのみの回答でも構いません。

  • オリフラについて

    シリコンウエハのオリフラはどの面に付いているのでしょうか。(100)と(111)について教えて欲しいです。

  • シリコンの問題。

    こんにちわ。高校生で物理をやています。 次の問題が分かりません。どなたか分かる方、教えて下さい。お願いします。 (1)シリコンの原子量は20.08、密度は2.34[g/cm~3]です。 　１立方センチメートルのシリコンのの単結晶中にシリコ　ン原子は何個含まれているでしょう！？（アボガドロ数　は6.02×10~23個/mol） (2)直径5ｃｍ、厚さ0.1mmのシリコンウェハに含まれるシリ　コン原子の数を求めてください。 です。出来ましたら、途中式も教えていただきたいです。 お願いします。

  • 結晶構造

    結晶の方向というものがよくわかりません。授業では、電子状態は結晶方向に依存するから重要だ、と聞きましたがうまくイメージできませんでした。また、固体物理の参考書でミラー指数なるものも目にしますが、これはどのような時に使われるのでしょうか？簡単に説明できる方がおりましたら、よろしくお願いします。

  • 六方晶の結晶面に関して

    SiCなどの六方晶の結晶方位面に関して質問があります。 <1100>面は、存在するのでしょうか？ <1-100>面なら、ミラー指数で理解できるのですが・・・・

  • ミラー指数：面間隔dを求める式について

    隣接する２つの原子面の面間隔dは、ミラー指数hklと格子定数の関数である。立方晶の対称性をもつ結晶では d=a/√(h^2 + k^2 + l^2) となる。 なぜこうなるのか証明せよといわれたのですが どうやってすればよいでしょうか？ ２次元で考えると簡単だと聞いたのですが…。

  • ミラー指数：面間隔bを求める公式について

    隣接する２つの原子面の面間隔dは、ミラー指数hklと格子定数の関数である。立方晶の対称性をもつ結晶では d=a/√(h^2 + k^2 + l^2)　・・・（１） となる。 質問：「(１)式を証明せよ」と言われたのですが、どうすれば言いかわかりません。やり方を教えてもらえませんか_|￣|○

注目のQ&A

カテゴリ

専門家に質問してみよう

職業から探して質問する

あなたにピッタリな商品が見つかる！ OKWAVEセレクト

質問する