オリフラのシリコンウエハ付着面とは？
- オリフラについて知りたいです。特に、シリコンウエハの付着面について教えてください。
- オリフラのシリコンウエハには、(100)と(111)の面に付着しています。
- (100)面は〇〇〇〇〇で、(111)面は〇〇〇〇〇です。
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オリフラについて
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どのような加工を行なうかにもよりますが。。。 面方位(100)面のウエハにウエットの異方性エッチングで加工する例を挙げます。この場合マスク形状がどんな形であってもマスク形状が内接する(110)面で囲まれた四角形にエッチングされます。つまりこのような加工の場合は(110)面にオリフラを付けることが好ましいと思われます。オリフラ位置は指定が出来ますので、先ずは加工方法の選択でしょう。
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お礼
回答ありがとうございます。