真空蒸着とは?

このQ&Aのポイント
  • 真空蒸着は、蒸発した金属の気体が原子状態で存在する技術です。
  • 真空蒸着では、金属が加熱されて蒸発し、真空中で冷却されることにより、原子状態の金属が生成されます。
  • この原子状態の金属は、薄膜の形で基板上に堆積させることができます。
回答を見る
  • 締切済み

真空蒸着について

真空蒸着において、蒸発した金属の気体は真空中では原子状態で存在するのでしょうか?イオン?

  • 化学
  • 回答数2
  • ありがとう数1

みんなの回答

  • aokii
  • ベストアンサー率23% (5210/22062)
回答No.2

蒸発金属は昇華した粒子(原子・分子)です。活性化反応性蒸着では、イオン化したガスと蒸発金属を反応させます。

corrosionQ
質問者

お礼

原子、分子状態なのですね。ありがとうございます。回答1の方もありがとうございます。

  • skydaddy
  • ベストアンサー率51% (388/748)
回答No.1

減圧化の加熱蒸発したものなので原子と考えられます。

関連するQ&A

  • 真空蒸着法の蒸着金属について

    真空蒸着の実験をやったのですが、蒸着金属によって蒸着の難易度が異なったんですが、どうしてそうなるのかを、真空蒸着の原理を考えて説明しないといけないのですが、どう答えたらいいのでしょうか?ちなみに何種類かの金属を蒸着して、熱電対を作りました。 使用した金属は、Al-Cu,Al-Ni,Ni-Cuの3つです。

  • 真空蒸着中の粒子

    真空蒸着機を用いた真空蒸着(ボートを用いた抵抗加熱とかEBとか)で、蒸着源から飛び出した粒子の大きさはどれくらいなのでしょうか?例えば金とかアルミとかが真空中に飛び出した時には、単原子で飛び出しているのか、ある程度の固まりで飛び出しているのか、どちらなのでしょうか?

  • 真空蒸着について

    真空蒸着装置を使い薄膜を作製しています 粉末をボートにのせて蒸発させていますが、ある程度ボートがあたたまると、粉末がしたにぼろぼろっとおちてしまいます これはなぜおちてしまうのでしょうか? また、改善策などありましたら教えてください

  • 真空蒸着した薄膜の厚さについて(アモルファス)

    学生実験にて、真空蒸着法による薄膜の作製を行い、厚さを測定しました。 実験方法は、蒸着金属にビスマス(Bi)を用いて、アルミの薄膜が蒸着されたガラス板に蒸着を行いました。このとき、真空蒸着装置のベルジャー内の真空度を5.0×10^-3Pa-以下としています。 そして、作成した薄膜の厚さを測定したところ、計算による薄膜の厚さよりも2割ほど厚くなりました。 その原因ついて、担当の方に質問したところ、蒸着された金属がアモルファスな状態となったためだと説明されました。 しかし、アモルファスについて調べたのですが、薄膜が2割も厚くなる原因となるようなことを見つけることができませんでした。 そこで質問ですが、 1、薄膜が厚くなる原因は本当にアモルファスなのか? 2、もしアモルファスが原因ならば、どうして厚くなるのか? 教えてください。 2に関してですが、自分でも詳しく知りたいと考えていますので、アモルファスについて分かりやすく(詳しく)書かれた文献がありましたら紹介して頂けるとありがたいです。 宜しくお願い致します。

  • 真空蒸着について・・・

    2機の真空蒸着機を使って蒸着を行っているのですが、片方の1機の蒸着の色?が白っぽい曇ったような色をしていて、もう片方の蒸着機の蒸着の色が全然曇りがない色になっているのです。 何回も真空度を変えてみたり試してみたのですが2機の蒸着機が同じ色になる事がないです。 蒸着の色が曇ったり、曇りがなくなったりするのは何が関係しているのでしょうか・・・ どなたか分かる方回答お願いします。 ちなみに材料は錫(Sn)です。

  • 実験で真空蒸着装置を使用しました

    真空蒸着装置を使う実験をやりました。 作業中に疑問に思ったのですが、蒸着の際に、蒸発電流調整スライダックを回して徐々に電流を増していったところ真空度も徐々に低下していったのですが、これはなぜなのでしょうか? 宜しくお願いしますm(__)m

  • 真空中における金属の融点、沸点

    金属の融点、沸点などは、調べると簡単に見つけることができます。 これは恐らく大気中における融点、沸点だと思います。 では、真空中においてもこの値は変化しないのでしょうか? ふと考えてみるとスッキリする答えが見つからず、 どなたか分かる方、教えていただけると嬉しいです。 水は1気圧のとき、100℃で沸騰します。 気圧が下がれば、この沸点が徐々に低下するのは常識といえます。 気圧が究極に低い状態、つまり真空中では、水は固体から 気体に昇華するのではないかと思います。 では金属の場合はどうなのでしょう? 真空中で金属を暖めても、まず液体になり、ゆっくりと蒸発していきます。 水のように昇華はしません。 真空中では一切気体が存在しないので、液体を押さえつけるものがない、 と考えると、液体になると同時に蒸発してしまうのでは…?? この辺りが疑問です。 結局、金属の融点、沸点というのは真空中でどうなるのでしょうか? どうぞよろしくお願いします。

  • 真空蒸着装置について教えてください

    真空蒸着装置において、できるだけ高真空で蒸着する方が、なぜ望ましいんでしょうか? よろしくお願いします。

  • 分圧とは?

    蒸気圧や分圧の考え方を教えてください。 例えば蒸着のようにある金属を蒸発させる場合、チャンバー内が真空でなく、当該金属の蒸発気体濃度が高い場合、分圧が高い状態との認識で良いでしょうか? またその場合は固体金属からは蒸発し難くなるのでしょうか。 分かりづらい内容ですみませんがよろしくお願いします。

  • 真空蒸着について

    アルミニウムを真空蒸着させる際にタングステンボートを使用したのですが、蒸着後タングステンボートがボロボロに腐食していました。これはどういった反応が起きているのでしょうか?