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真空蒸着について・・・
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蒸着機(1)を白っぽい蒸着膜を作るものとして、(2)を曇りのない膜を作る蒸着機としましょう。(1)は真空度が上がっていないようです。真空度を変えて試すのではなくて、真空度を上げてお試しになるべきでしょう。油拡散ポンプはお使いのはずでしょう。(1)の真空度は余り上がらないと想像します。 真空蒸着機の真空度が上がらない理由は、第一にはリーク(漏れ グリース不良など)があること、第二には水の存在が疑われます。何かの理由で水を含む試料を真空チャンバーに入れてしまったか、あるいは装置不使用時に真空チャンバーをリークしたままに放置して大気中より湿気が浸入したのでしょうか。一度水の入った真空装置から水を追い出すことは大困難です。分解して掃除するか、蒸着機を何日か空運転してみましょう。
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- santana-3
- ベストアンサー率28% (3894/13907)
一般的に白濁する場合は真空度が低い場合があげられます。
お礼
回答ありがとうございます。 一度真空度を変更して試してみたいと思います。 助かりました。
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