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分圧とは?
蒸気圧や分圧の考え方を教えてください。 例えば蒸着のようにある金属を蒸発させる場合、チャンバー内が真空でなく、当該金属の蒸発気体濃度が高い場合、分圧が高い状態との認識で良いでしょうか? またその場合は固体金属からは蒸発し難くなるのでしょうか。 分かりづらい内容ですみませんがよろしくお願いします。
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蒸気圧:物資が蒸発する圧力 分圧:いくつかの物質が気体であるとき、その一部の物質の圧 分圧が高い:比較する圧力に対して、ある物質の分圧が高い >固体金属からは蒸発し難くなるのでしょうか。? 固体が蒸発して飽和状態になると見かけ上それ以上蒸発しません。(蒸発(昇華)と析出(固化)が同じ量になる) >分圧が高い状態との認識で良いでしょうか? 蒸発するに従い、その物質の分圧はあがります。従って、その物質の濃度が上がると、分圧も高くなると言えます。
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