- 締切済み
真空蒸着装置について教えてください
- みんなの回答 （1）
- 専門家の回答
みんなの回答
- apple-man
- ベストアンサー率31% (923/2913)
１．原材料を気化させる温度を低くできる。 ２．不純物の混入を低く抑えられる。 といったところでしょうか。 周囲のガス圧より、気化させる金属の蒸気圧が 高ければ気化が起こって、蒸着できるので、 周囲のガス圧が高いと、より高温にしないと 金属の気化が起こらないわけで、より低い 温度での蒸着を考えた場合、真空度は 高いほうがいい。 蒸着中に、雰囲気ガスの分子も基板上に 付着して拡散していきます。半導体の特性の ように、微量な不純物の混入が、電気的特性に 大きな影響を与える場合もあるので、 より高真空のほうがいい。 そんなところでしょうか。
関連するQ&A
- 実験で真空蒸着装置を使用しました
真空蒸着装置を使う実験をやりました。 作業中に疑問に思ったのですが、蒸着の際に、蒸発電流調整スライダックを回して徐々に電流を増していったところ真空度も徐々に低下していったのですが、これはなぜなのでしょうか？ 宜しくお願いしますm(__)m
- ベストアンサー
- 物理学
- アルミニウムの真空蒸着
ＣＶＤ装置として利用するためにＳＵＳ３０４でできた真空装置の内壁をアルミニウムでコーティングしたいと思っています。 用途がＣＶＤ装置であり油拡散ポンプやターボ分子ポンプを保有しているので 真空蒸着によってアルミニウムを装置の内壁全体にコーティングしたいと思っています。 成膜に必要な温度や圧力が知りたいのですが、私が図書館で借りた真空蒸着の本に書かれた条件と以下のサイトの条件が大きく異なるため、実際にアルミニウムで成膜をされた経験がある方に伺いたいと思いました。 http://202.11.2.126/iwaya/ex2/h18/2-1.pdf 蒸着源から最も遠い内壁までの距離はおよそ１５ｃｍです。 この距離まで、まんべんなくアルミニウムを蒸着させるためには、おおよそどれくらいの圧力と温度が必要なのでしょうか。
- ベストアンサー
- その他（学問・教育）
- 真空蒸着装置での雰囲気圧力と蒸気圧について
真空蒸着装置での雰囲気圧力と蒸気圧について 真空蒸着装置にて、真空度が10^-5Pa程度である場合、蒸気圧が3000℃で10^-9Paの物質は蒸気になることが出来ないのでしょうか？
- ベストアンサー
- 物理学
- 真空蒸着
専門家の方には基本的な質問で申し訳ございません。 現在、有機物の膜を積層したデバイスを作成しています。 ITO透明電極上に、有機膜を積層し、対極に金を真空蒸着でつけています。真空蒸着 装置は、抵抗加熱型のもので、タングステンのバスケットに金のワイヤーを切ったも のをいれ、加熱して蒸着しています。膜厚は40-100 nm程度です。 アルミニウムで作成したときには、ショートはしませんが、金で行うとすべてオーミ ックな応答を示す、つまりショートした状態になっています。 このような状況を回避する方法はなにかご存知ありませんでしょうか。 よろしくおねがいいたします。
- 締切済み
- 電子部品・基板部品
- 真空蒸着について・・・
２機の真空蒸着機を使って蒸着を行っているのですが、片方の１機の蒸着の色？が白っぽい曇ったような色をしていて、もう片方の蒸着機の蒸着の色が全然曇りがない色になっているのです。 何回も真空度を変えてみたり試してみたのですが２機の蒸着機が同じ色になる事がないです。 蒸着の色が曇ったり、曇りがなくなったりするのは何が関係しているのでしょうか・・・ どなたか分かる方回答お願いします。 ちなみに材料は錫（Sn）です。
- ベストアンサー
- 科学
- 真空蒸着
専門家の方には基本的な質問で申し訳ございません。 化学のカテゴリに掲載させていただきましたが、こちらのほうがデバイスの内容は適切だと言うご指摘をうけ、こちらにも掲載させていただきました。 現在、有機物の膜を積層したデバイスを作成しています。 ITO透明電極上に、無機半導体、有機膜数層を積層し、対極に金を真空蒸着でつけています。真空蒸着装置は、抵抗加熱型のもので、タングステンのバスケットに金のワイヤーを切ったものをいれ、加熱して蒸着しています。膜厚は40-100 nm程度です。 アルミニウムで作成したときには、ショートはしませんが、金で行うとすべてオーミックな応答を示す、つまりショートした状態になっています。 このような状況を回避する方法はなにかご存知ありませんでしょうか。 よろしくおねがいいたします。
- 締切済み
- 物理学
お礼
本当にありがとうございます。 大変役に立ちました。