シリコンウェハの成分とは？
- シリコンウェハの成分について調査しました。シリコンウェハはシリコン以外にも金属類が含まれています。
- シリコンウェハの再利用について調べていますが、シリコン以外にも金属類が含まれていることがわかりました。
- シリコンウェハにはシリコン以外にも金属類が含まれています。再利用を検討する際には注意が必要です。
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シリコンウェハの成分について。
シリコンウェハの端材を再利用したいと検討しているのですが、成分はもともとシリコンのみと思っているのですが、他に金属類が含まれているのでしょうか？あまりに単純で初歩の質問で申し訳ありませんがよろしくお願いいたします。
- 金属
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回答（１）さんの記述で殆ど正しいです。 半導体用シリコン結晶は低濃度の不純物がドープされた状態で引き上げが行われ シリコンウェハにも同様に不純物が含まれています 入れた不純物の種類によってP型ウェハ、N型ウェハとして売られます。 さらに言えば工業的にはシリコン純度が一番高くなるのは単結晶シリコンを作る前の 超高純度のシランなどのガスを熱分解して生成した多結晶シリコンの段階です。 単結晶導入不純物は通常はリンやボロンが使われることが多いですが １枚のシリコンウェハに入っている量は爪楊枝の先１本分も無いので 通常の組成比率で言えば、シリコン１００％といっても良い純度です。 ただし配線工程まで進んだウェハの端材ですと、アルミや銅やタングステン、チタンや金などいろいろな種類の金属類が一緒になっている可能性が大きいです。 ウェハ上に模様が見えるようなら既に配線工程まで進んだウェハだと思ってください。
シリコンウエハは、略シリコンのみです。（テン ナイン以上です） そして、リサイクルウエハは貴殿の記述で製作します。 また、結晶構造で単結晶と多結晶構造のウエハがあるので、製作方法等で気を付けて下さい。 更に、ウエハにデバイスを形成している場合は、端材等にデバイス工程で多種の異物が付着して いたり、ドーピングで他の元素が注入されていますので、それ等を除去する必要があります。 異物の付着は、洗浄である程度除去できますが、注入された他元素の除去はプロセス処理 しなくてはいけませんので、非常に難しいです。 回答（１）は、簡易書物等からの素人記述で、中身が殆ど無い。 “ステライド”のお礼に記述しておきます。 小生の受けた気持ちが判るなら、二度と同様の記述は控えるように。 小生も回答（１）からの誹謗中傷の記述がなかったら、記述はしませんよ！！ デバイスウエハでは、配線工程になるとAl（アルミ）やCu（銅）を使用しますし、 積層する場合は、層と層の間をパシベイションします。 それ等を使用するのであれば、非常に厄介な事になります。 端でも製造装置のハンドリング等で汚染している場合があるからです。
お礼
ありがとうございました、参考にさせて頂きます。
Wikpediaにも「シリコンウエハー」の製法等も記載されています。 精製段階で金属性の不純物を1ppba（parts per billion atomic）以下まで 取り除くと有ります。単結晶成長で製造するので、純シリコンと考えられます。
お礼
ありがとうございました、参考にさせて頂きます。
私が高校生の時、実家の近所の信越化学工業が、 イレブンナインを達成したと発表していました。 ９９.９・・％ と、９が１１個並ぶ純度だそうです。 実は、それより下の桁は、検出限界で測定不能だそうです。 理論的には、事実上の１００％です。 あれから４０年近く経ち、まぁ、純度は１００％ですな。 ＃ 同社の爆発事故の時、 ＃ 直線距離で３００ｍくらいの我が家は・・（以下、略） 冗談ついでに。 ９が６個なら、どう言うのですかぁと発言して、 周囲のひんしゅくを買ったのは、言うまでもありません。 （なんちゅう高校生だったのか！）
お礼
ありがとうございました、参考にさせて頂きます。
シリコンを一旦99.999999999％まで高純度にしたのち、P型Siを製作するならホウ素（B）を所定量ドーピングし，N型ならリン（P）やヒ素（As）をドーピングする。 その濃度はppmぐらい。 http://www.semiconductorjapan.net/serial/lesson/03.html http://www.ffti.jp/product/saisei.html ウェハ丸ごとの再生品はビジネスが成立してるのは知ってるが、端材ってのはそうなるの？ 10年以上前しか知らないが、ウェハ丸ごとでも捨てていた記憶があったので、、、 H14の資料 10/24 http://www.cjc.or.jp/modules/incontent/vosPages/CJC/cjc_syokai/pdf/system/H14_system.pdf 粉砕して鉄鋼、アルミ精錬の助剤に使う程度が、レベルの低い太陽電池へ振向けるルートができ、半導体用の完全再生はその後のことらしい。 切れ端は相変わらず精錬用ではないのかナ？ 回答（４）の追記発見！ 批判は技術内容なら幾らでも構わないが、その文中で間違いを重ねるのは如何にも恥ずかしい。 × ステライド ○ ステライト No.41911 シリコンウエハー中の金属の動き http://mori.nc-net.or.jp/EokpControl?&tid=289894&event=QE0004 回答（２） 本件回答（５）の方が（１）追記でデタラメと指摘 （３） （２）の間違いを証明する内容。↓反論不能でイミフなうなり声だけ （４） ベビーカーに乗って ピーポー ピーポー ウーン (´ε｀；)ｳｰﾝ… 徘徊するようになり、デタラメ回答も酷いけど、遂にろれつが回らなくなってきたらし
お礼
ありがとうございました、参考にさせて頂きます。
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