SEM観察における樹脂埋めの影響と解決方法
- 金属を樹脂埋めして研磨を行い、白金を蒸着してSEMで観察を行っているが、きれいな像が得られない。
- SEM観察時の白金の蒸着量や加速電圧の設定方法を教えてほしい。
- 高倍率にすると表面の細かい様子がわかりにくくぼやける。
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樹脂埋めしたもののSEMでの観察について
金属を樹脂埋めして研磨を行い、表面に白金を蒸着して SEMで観察を行っているのですが、きれいな像を見ることができません。 白金の蒸着量や加速電圧等の値をどのように設定したらよいか ご存知の方がいましたらアドバイス宜しくお願いします。 ×8000ぐらいの倍率になると 表面の細かい様子がわかりにくくぼやけた感じになります。 （コントラストにあまり差がなくなる？） 表面はバフ0.05μmまで研磨しているのでそれなりに傷は少ないと思われます。
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装置自体の性能がどの位のものかわかりませんが、何を見ても同じようだと すると、一つには設置場所の振動などの環境による限界かもしれません。 例えば他の金属単体でならもっと綺麗に見えるということでしたら、調整に よるものかと思います。 蒸着量や加速電圧は、水準を変えて写して見ればわかることでしょうから、 その他の調整（メーカーや機種によって、どこまでのどんな調整機能が あるのか異なるため具体的なことはわかりません）によるものと思います。 装置のマニュアルを見て調整をしてみてください。 でも、一番最初に聞くべきはメーカーなのではないでしょうか？ それで装置に起因するものではないと確認できたら、いろんな条件を変えて 自分で試行錯誤するしかないと思います。
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「きれいな像が見えない」とは具体的にはどう見えないのでしょうか？ 研磨はきれいなのに像がぼやけるとか帯電したように白くなるとか、 どの位の倍率で、どんな状態なのかがわからないとアドバイスできません。
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