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SEM観察時のカーボン蒸着について
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No.1の方の回答と同じことですが、SEM(走査型電子顕微鏡)も、EM(電子顕微鏡)も真空管と同じ原理です。 陰極からの電子線は、電子銃、ポールピース、電子レンズ、偏向板を経て試料面に照射されますが、試料面が非導電性ですと、陽極(この場合は試料面)から陰極に向かって電流が流れます。 試料面がガラス状ですと電流の流れる経路ができないために、電流の経路を作ろうとして、電子ビームがさまよって正しく像を観測できなくなります。そのために、試料面を導電性の薄膜でスパッター(真空蒸着)を行います。 良い結果を出すためにも試料つくりが一番大事だと思います。 もう古の記憶です、間違っているかも知れません。 usotsukiでした。
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- apple-man
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帯電防止です。 カーボン蒸着してても、明るさのむらが できるでしょ。そこが帯電してるんですね。 カーボンの蒸着がよくないと、部分的に 明るい部分が残ったりすると思います。 カーボン蒸着してないと、試料全体が 帯電してよく見えなくなるはずです。
お礼
明るさのムラが帯電に起因しているのを始めて知りました。 原因が分かると、同じ観察でもより深く行えそうです。 ありがとうございました。
- Lacoon
- ベストアンサー率31% (7/22)
SEMでは加速電子を試料に当てて飛び出してきた2次電子を検出します。 このとき、加速電子によって試料は帯電します。そうするとcontrastが異常になり、像もぼやけてしまいます。 したがってこれを避けるために試料表面にごく薄い導電層をCやAuなどでつくり電荷を逃がしています。
お礼
像のコントラストに直接関わることなのですね。 原理を知らずに、導電層を設けずに観察したこともありましたが、全てやり直そうとおもっています。 ありがとうございました。
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