Si他ウエハーの特性とは？
- Si他ウエハーについての仕様についてお尋ねします。表面仕上げやEPDについての意味が分からないため、ご教示いただきたくお願いいたします。
- Si他ウエハーのスペック表には、表面仕上げがbright etched、EPDがxx μm以下と書かれています。表面仕上げの意味やEPDの略が分からないため、詳しい方に教えていただきたいです。
- Si他ウエハーの仕様について質問です。表面仕上げがbright etched、EPDがxx μm以下と書かれていますが、これらの意味が分かりません。知識が不足しているので、教えていただけるとありがたいです。
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Ｓｉ他ウエハーの仕様について
Si，GaAs等のウエハーについてお尋ねします。 スペック表をみると、 ? 表面仕上げ： bright etched ? ＥＰＤ ： xx μm以下 と書かれていたのですが、意味が分かりません。 bright は「光沢」だと思いますが、etched というとラップやポリ ッシュじゃないんですよね。ＥＰＤについても何の略なのかさえ分か りませんでした。 当方、半導体関係は畑違いで、職場にも参考になるような本や資料が なく、ネット検索でも意味が分からなかったものですから、ご存じの 方がおられましたらご教示いただきたく、お願いいたします。
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今後の検索のヒントになれば･･･ スライスしたウェーハを 機械的に研磨：ラッピング ↓ 薬液で研磨：エッチング ↓ ケミカルメカニカルポリッシュ：ポリッシュ(ミラー面になる) ラッピングまでで終わればラップド， エッチングまででエッチドウェーハ。このときにかなり光沢がある状態に仕上げてある，という意味でブライトエッチドなのだと思います。 EPDはEtch Pit Density エッチピット密度 通常は，〇〇個/cm2 とかの単位なのですが･･･
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ご回答ありがとうございます。 エッチングによる研磨というのがあるのですか。 先入観で、研磨はこするものとばかり考えておりました。 ご紹介のＵＲＬも参考になりました。 ＥＰＤは単位からして別の略称かと思っておるのですが･･･。