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SiGeって何がそんなにいいんでしょう?

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お礼率 100% (1/1)

こんばんは。半導体の買い付けの仕事をしているものです。
もともと文系なので、いろいろと苦労しています...

ところで、最近GaAsが使われてきた分野で、SiGeの採用が大きく延びているようです。
そのメリットは何なのでしょうか?聞いている話では、下記のようなものがある
らしいのですが、その格差と、その理由は何故でしょうか?
また、デメリットはあるのでしょうか?
知識をお持ちの方、是非ご教示ください。

1.従来のSi用の生産ラインが使用可能であること
 → Wafer単価&Wafer口径の違い?
2.GaAsに比べ安価であること
 → GaAsと比較し、大口径のWaferを使用可能だから?
3.GaAsに比べ消費電力が大幅に低減できること
 → GaAsと比較し、より微細なデザインルールを適用できるから?
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回答 (全1件)

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ベストアンサー率 50% (2/4)

私もSiGeは詳しくないのですが、どなたからも回答がないようなので参考までに・・・。 Siのウェーハは、直径が8~12インチ(200~300mm)用の物が使えますが、GaAsはせいぜい直径3~4インチのウェーハしか生産ラインで使用できません。なぜかというと、Siと比較してGaAsはやわらかいためです。もし、GaAsの8インチウェーハをピンセットで持てば、下手をすると自重で割れてしまうと思います(もち ...続きを読む
私もSiGeは詳しくないのですが、どなたからも回答がないようなので参考までに・・・。

Siのウェーハは、直径が8~12インチ(200~300mm)用の物が使えますが、GaAsはせいぜい直径3~4インチのウェーハしか生産ラインで使用できません。なぜかというと、Siと比較してGaAsはやわらかいためです。もし、GaAsの8インチウェーハをピンセットで持てば、下手をすると自重で割れてしまうと思います(もちろんSiウェーハでそのようなことはありません)。SiGeはSiと同じサイズのウェーハをつくり、ラインで使用できたはずです。foryさんが書かれている通り、大きいウェーハがラインで使えれば、一度にたくさん作れますから、製品の単価を下げることができるでしょう(SiGeウェーハの単価は知りませんが、人件費は減らせる)。

GaAsに比べ消費電力が大幅に低減できるかちょっと知りません。ごめんなさい。ただ、GaAsがSiより良い特性が出るとわかっていたにも関わらず、量産に入るのが遅かったのは、「GaAsは放熱が悪いために使えない」と考えられたためだったと思います。(この辺は、富士通の化合物半導体を扱っているところをみるといいかも知れません。)SiGeでGaAsより良いというのであれば、そういったことが絡んでいる可能性があると思います。

余談ですが、最近はSi半導体でも性能的にGaAs半導体に負けてないかも・・・。頑張れ化合物半導体。ラインであまり高温を加えられないは、軟くて扱いづらいはじゃあねぇ。
お礼コメント
fory

お礼率 100% (1/1)

Chisayaさん、回答ありがとうございます!この件については自分でも調査中ですので、何かわかったら報告します...
投稿日時 - 2002-01-26 23:21:45


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