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ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）の画像モードについて
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SEI (secondary electron image) LEI (lower secondary electron image) と書いてありますが． SEI 二次電子像は SEM の基本モードのひとつだと思うんですが．
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- 128yen
- ベストアンサー率44% (107/243)
JEOLのSEMは使ったことがありませんので、推測ですが・・・ おそらくお使いのSEMはセミインレンズタイプではないでしょうか？ もしそうでしたら、下方の検出器で得られた二次電子像だと思います。 比較的凹凸のあるサンプルを観察してもらって、 SEI（上方で検出）とLEIの像を比較すると LEIの方が凹凸感のある像であれば下方検出器からの信号だと考えられます。
お礼
なんかいろいろな本を調べたら、 自分の中で、こういうことだろうなということが分かってきました。 129yenさんのおっしゃるとおり、 LEIは下方検出器だと思います。 回答ありがとうございました。
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早速の回答ありがとうございます。 英語より判断すると、LEI はSEIに比べてより低い二次電子による像ということなのでしょうか？