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誘導結合型プラズマ
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エネルギー源と試料とが,誘導という原理で「結合」されているということですが. 電極をチャンバー内に埋め込んで直接電解をかけるのなら,直接「結合」というところでしょうかね. Couple というのは電気の世界でもよく使う言葉ですが,ぴったりくる語感の日本語はないようです.ある現象がおこるとそれに引きずられて別の現象がおこる,干渉ともちょっと違うし...つながってるんですよ,couple してるんですよ. NMR の spin-spin coupling だって,別にスピン間に化学結合ができるわけでもないし,くっついて一体化するわけでもないですね.あるスピンの挙動がもう一つのスピンに影響を与える,というのを couple という言葉で意味しているわけです. ICP の場合は,エネルギーが伝わるという意味で「結合」しているわけで.
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- c80s3xxx
- ベストアンサー率49% (1631/3289)
プラズマ化させるための高周波エネルギーをどうやって試料に与えるのか,という問題です. 直接試料チャンバーに埋め込んだ電極に配線して電圧を印加して電界をかけるのではなく,電磁誘導の原理でチャンバーの中に電極を入れることなくプラズマ化ができるわけです.こうしないと電極からの汚染が問題になってしまいます. 参考 http://fmm.kz.tsukuba.ac.jp/icp.htm エネルギーの非接触の与え方には,誘導結合型のほかに容量結合型というのもありえます. 原理的には,トランスとコンデンサの違いですかね.いずれも供給側と受け取り側は直流電気的には絶縁されているわけですが,電気エネルギーは伝えることができるわけです.
お礼
c80s3xxxさん、ご回答ありがとうございます。 一応、私としてはプラズマ発生の原理などは勉強して理解しているつもりなのですが、どうしても誘導結合型プラズマの「結合」という単語が引っかかってしまい、ご質問をさせていただきました。 できれば、この結合が何をさしているのかを教えていただきたいのです。 もしよろしければ、そのあたりを教えていただけないでしょうか? よろしくお願いいたします。
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ご回答ありがとうございました。 たしかにcoupleという単語はほかのところでもよく用いられていますね。 そもそも日本語で考えるというのがおかしかったのかもしれません。 c80s3xxxさん、本当にありがとうございました。