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精密製造機器でクリーニング、どんな方法が?

精密製造機器(半導体など)で真空ノズル穴などが詰まってきてクリーニングを必要とします。主に半田カスなのですが、それをクリーニングする方法としてどんな物があるでしょうか? 但し液体やブラストなどは液体そのものブラストそのものが飛散するので無理です。 レーザー、高電流などの方法(そもそもそんな方法があるかも分かりませんが)が良いです。 どうかよろしくお願いいたします。

  • 化学
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  • us123
  • ベストアンサー率26% (10/38)
回答No.2

小さくて強い付着力がある場合、精密で複雑な形状の場合には 高周波(100kHz以上)の超音波を利用すると効果があります 超音波は使用方法により効果が大きく変わります (振動子・発振機以外の水槽や液循環などについて検討してください)

その他の回答 (1)

  • say-onara
  • ベストアンサー率47% (27/57)
回答No.1

半田カスとは? 半田のスパッタやフラックス等色々有ります。 あと、ノズルの材質は? 吸着パッドなら、溶媒などゴム材質で変わります。 スパッタはブラッシング、フラックスは有機溶剤での洗浄かな? 水溶性フラックスなら、水もありでしょう。 超音波洗浄器に有機溶剤入れて洗浄…が有効かも? いずれ、詳細不明なままでは、この辺が限界です。

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