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半導体のリソグラフィ工程のBARCとは？
BARCとは何をするもののことですか？直訳すると裏面反射防止コーティングという意味らしいんですが、さっぱりわかりません。教えて下さーい。
- utouchable
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まず、BARCはレジストを塗布する前に、塗布します。 それで、露光、現像するとレジストパターンの下にBARCが あるという状態ですね。材質としては、レジストと似たような 有機膜が一般的です。 というわけで、次はエッチング工程ですよね。なので、エッチング の最初にBARCをエッチングするステップを追加することになります。 ステップと言ったのは、その下のエッチング工程で、同じ装置で連続 してエッチングするのが普通だからです。 以上
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- gator
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レジストの入射光と、レジスト底面での反射光が干渉を起こし、 レジストの厚さ方向に、強く露光される部分と弱く露光される部分 ができてしまいます。その結果、現像後、レジストの側面が波打って しまいます。それを防止するためのものです。 BはBottomのBだったような気がします。 以上
お礼
ありがとうございます。 さらに聞いてもよいですか！？ BARCは役目を終えた後、どうするのですか？剥離させる？
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お礼
再度のご回答ありごとうございました！！