半導体関連のBARCの意味

質問

レジスト関係の資料を読んでいて、
DBARC（Developable Bottom　Anti Reflective　Coating）
BARC's（Bottom　Anti Reflective　Coating）
CD（Critical dimension）
の意味がよく分かりません。
日本語に訳すと、「裏面反射コーティング」なのでしょうか？
専門的な呼び方がありますか？
調べても分からなかったため、どうぞ宜しくお願いします。

回答No.1

sanori · ベストアンサー

こんばんは。
半導体関連の元・開発技術者です。

ＢＡＲＣは、フォトレジストの下に反射防止のために設けられた層のことです。
たとえば、配線用の金属層としてアルミを使うとき、アルミは反射が激しいため、ハレーション（光のにじみ）により、露光・現像後のレジストパターンを思ったとおりにすることが難しいです。
そこで、アルミとフォトレジストとの間に、薄い反射防止層（＝ＢＡＲＣ）をコーティングしておけば、露光・現像後のパターンの精度が向上します。

ＤＢＡＲＤ、すなわち、現像可能なＢＡＲＣとは、
現像時にフォトレジストと一体で熔けてくれるＢＡＲＣのことでしょう。おそらく。

ＣＤ（Critical Dimension）の dimension は、サイズのことですから、
要は、
「このサイズより小さいのはダメ、大きいのはＯＫ」
または
「このサイズより小さいのはＯＫ、大きいのはダメ」
ということです。
この分野に限らず、多方面で使われる言葉だと思いますし、文脈もわかりませんので断言はできませんが、
フォトレジストパターンを正常にできる、ぎりぎりの大きさということなのでしょう。

資料の中の文章を勝手に推測しますと、
ＢＡＲＣを使うことによりＣＤが小さくなり（＝良くなり）、ＤＢＡＲＣだと、さらに小さくなる（＝良くなる）、
というような文章ではありませんか？

＞＞＞専門的な呼び方がありますか？

業界の人間は、ほとんど、頭文字での略称のまんまで使いますから、
特に和訳はなくて良いと思いますが、
私がこの関係の仕事をしていた頃は、ＢＡＲＣのことを「反射防止膜」と呼ぶこともありました。

ＢＡＲＣのわかりやすい説明図が載っているサイトを見つけました。
http://www1.ocn.ne.jp/~raichi/test/raichi/tpl/tpl.html

お礼

詳しく説明して頂きましてありがとうございました。
勉強をし始めたばかりで専門用語が分からなくて困っていました。
とてもよく分かりました。