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X線源の試料(ターゲット?)
X線を出すには電子銃から出た電子を、 試料に叩き付けてX線を得ると聞きました。 そこで質問なのですが、アルミニウムやマグネシウムを 試料に使うことで何か違いがあるのでしょうか。 色々な教科書を読むと、 タングステン・コバルト・銀・・・等が書いてあります。 その理由もわかったのですが、今使っているXPSでは 教科書では見慣れないアルミとマグネシウムを使っています。 ちなみに、原子番号が大ければ効率が良いということだけはわかりました。
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XPSのターゲットはよほど特殊でない限り,Al, Mgを使用します. (読まれた教科書の記述はXPS用のX線源ではなかったのでは?) 理由は, 1.長時間の電子線衝撃に対する安定性 2.X線のエネルギー幅が小さいこと(XPSのエネルギー分解能を高くするため) 3.エネルギーが高いこと(励起する光電子のエネルギー幅を大きく取れるため) 4.熱伝導度が高いこと(上記を満たすSiが使えない理由) を考慮し,残るのがAlとMgです. また,2種使うのは,一方でオージェピークとの干渉があった場合に他方では 干渉を避けられるからです. 参考文献: D.ブリッグス, M.P.シーア編,合志陽一,清水隆一監訳,表面分析研究会訳 「表面分析-基礎と応用-(上巻)」,アグネ(1991).
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お礼
すいません、自分の調査不足でした。 さっそく参考文献みてまわります。