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ESCAとオージェ分光法（オージェ電子分光法ともいう？）の違いについて
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ESCA : XPS とほぼ同義．試料にX線をあてて，通常は原子の内殻電子を試料外部に叩き出し，放出される光電子の運動エネルギーを測定する．励起X線のエネルギーと運動エネルギーの差分が，その電子が試料内の原子に捉えられていたときの「束縛エネルギー」であり，これは元素と電子軌道でほぼ決まる．束縛エネルギーから原子種が，強度から含有量を求めることができる．束縛エネルギーは，その原子のおかれている化学的環境によってある程度変化するため (化学シフト)，原子の置かれている状態についての情報も得られる． Auger : X線等によって内殻電子が放出された後には空軌道が残る．ここに，その原子の外殻電子が落ちてくることがある．このときにエネルギー放出がおこり，このエネルギーによって，他の外殻電子が放出される．この放出電子を Auger 電子と呼び，その運動エネルギーを測定することで放出前の電子のエネルギー状態 (束縛エネルギー) を求めることができる．あとはESCAと同じ．通常，ESCA の測定では同時に Auger 電子も検出される．ESCA の横軸は束縛エネルギーを採ることがふつうだが，Auger 電子の束縛エネルギーは ESCA の横軸とは一致しない．
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