• 締切済み

真空度の違いによる影響

結晶成長装置の真空度が異なる2つのチャンバーがあるときに、ゲートをopenすると装置に与える影響が大きいのは(a)、(b)のどちらかという問題で (a)    成長室 ⇒ 10^-9 交換室 ⇒ 10^-2 (b) 成長室 ⇒ 10^-6 交換室 ⇒ 10^-1 (a)であろうという検討はつくのですが、科学的な根拠が分かりません。教えて下さい。

みんなの回答

回答No.1

正しくないかもしれませんが、 私の考えを述べます。 成長室側の状況(温度とか)がわからないので判断しづらいのですが、 「装置への影響」といわれるとbの方が影響が大きいと思います。 理由は、bの方が交換室側からの大気の流入が大きいから。 単位が書いてないですが、 交換室側の圧力が大気圧に近いなら、ゲートバルブが痛みます。

関連するQ&A

  • 真空度の変化について

     自動車部品製造業に勤めています  真空ポンプとレギュレータを使用しタンク内の真空圧を調整していますが、各装置で同じ部品を使用しているのに、タンク内真空度の変化に違いが出ます   装置Aと装置Bがあり、レギュレータ設定が高い時は真空度の上がり方がA>B、レギュレータ設定が低い時はA<Bになります  レギュレータとタンクの間にバルブがあり、0から設定圧までの上がり方です  真空ポンプの回転数はAB同じです   配管の長さに違いが有り、リークや圧損・コンダクタンス?が影響しているとは思うんですが、はっきりと理解出来ません  装置Aと装置Bの真空変化度が同じに様になる為にはどのようにしたら良いでしょうか    駄質問ですが宜しくお願いします

  • 真空成形の真空度と吸引容量

    真空成形について検討していますが 真空ポンプなどの設備要件をどのように決めるかで困っています。 吸引する量(チャンバーの容量)というのは、閉空間作ったときの容量にプラスどのくらいみておけば良いのでしょうか? ※ポンプ能力はチャンバーを真空にするのに1サイクルで十分間に合うと考えて・・・ 真空度を上げるのは チャンバー容量を大きくしてもムダ? 真空度を早く上げるのも チャンバー容量を大きくしてもムダ? で良いんでしょうか?

  • 真空の中ってすごく寒いのですか??

    真空チャンバーに、お湯がはいってるカップをいれ、真空チャンバー装置のふたを閉めて真空引きを始めると、水がボコボコし始めて、一瞬で水がカチコチに固まってしまいました。なぜこんな現象が起こるのかわかりません!気圧で沸点がかわるとかの影響??わからーん!!教えてください!

  • 到達真空度の見積もりって・・・

    素人な質問、もしくは既出の質問でしたらすいませんがどなかた教えていただけるとありがたいです。 当方、普段から真空装置(チェンバー・RP・TMP等)を使用して実験を行っています。最近、装置改良のためチェンバーを二ヶ月近く大気圧にさらしていました。そしていざ、真空を引き始めるといまいち到達真空度がよろしくありません。そこで考えられる可能性としては ・長い間大気圧に放置しすぎた ・TMPの排気速度が充分ではない 等を考えています。放置していた件に関してはベイクしてやるか時間をかけてやれば良いと考えています。排気速度に関しては理論的な到達真空度を見積もってやることによって排気速度の見直しを行おうと考えました。色々と調べたのですが排気速度から到達真空度を算出する適当な方法が見つかりませんでした。 どなたかご存知の方がいらしましたらご教授願います。 宜しくお願いいたします。

  • 真空中の金属のアウトガスについて

    真空チャンバで圧力を0.5Paまで引きます。 この場合、SPHCやSUS303、SUS304でアウトガスは 発生するでしょうか。 また、この程度の真空度であれば、ベアリングは グリスの交換程度で大丈夫でしょうか。 以上、よろしくお願いします。

  • 真空機器の設計。シール方法

    経験が無いので、皆さんの知見を拝借したいと思います。 真空チャンバーの中で回転物を回した構造の装置です。 チャンバーの中にシャフトを入れてます。 低真空(1000Pa)なので、オイルシールでシールしています。 今回、真空度を1Paにしたいのですが、この場合の シール方法は何がベストでしょうか? オイルシールでもシールするものなのか?磁気シールのようなものを 使用しないといけないのか? 教えて頂ければ有難いです。

  • 真空内でのフィルム固定について

    真空内でのフィルムの固定方法について困っております。 真空チャンバー内にて、フィルムをジグに固定するのですが、素材が柔らかいのでメカ的なクランプができず、また、真空吸着による固定も、到達真空度がチャンバー内真空度と同圧になったと同時に落下してしまいます。(天井から吊るような固定です) 現在、粘着材による固定も検討しているのですが、自動機に応用するため、剥離性、粘着力の継続性、汚れたときの清掃方法等も考慮しなければなりません。 別途良い方法、もしくは何かよい粘着材があれば教えていただけませんか。 (ちなみにフィルムは10g程度です) 以上よろしくお願いいたします。。

  • 真空炉における水分の影響力

    「真空炉」使用某ユーザーで下記検討中。  ? 窒素ガス発生装置:50Nm3/H 純度:99.99%  ※ 上記に水素添加して窒素純度UP、但し、マスフローで窒素量に変動    して自動調整。    また、残存水素を処理するとコスト高になる為未処理で使用を希望。  ? 水素使用量     50(Nm3/H)×0.01(%)÷100×2(H2)×1.2=0.012(Nm3/H)     0.012×1000÷60=0.2(Nl/min)  ? 窒素ガス中の残存水素    上記添加水素量の約20%は残存します。    従って、0.012×0.2÷50(Nm3/H)×100=0.0048%)=48(ppm)  ? 露点    露点は、結局100ppmの酸素に水素がくっついて、200ppmの水分が加算    されます。    従って、-30℃(大気圧露点)が相当となります。  上記の場合「真空炉」に与える悪影響は有るでしょうか?  有るとすればどの様な影響でしょうか?  また、その場合の対策は如何でしょうか?  他に「水素」自体は「真空炉」に影響は有るでしょうか?  ご教授よろしくお願い致します。  ご回答お待ちしております。

  • 真空でのステージ作動について

    真空チャンバー内への単軸ステージの導入を検討中です。 作動には送りねじとステッピングモーターを使用しようと考えているのですが、チャンバー内は10~-3Pa程度の真空で、温度も200℃程度まで上昇するため、通常のねじとモーターは使用できないと思います。 この様な環境で使用できる送りねじやモーターは購入可能でしょうか。 またその他に適当な作動方法はありますでしょうか。 ステージは150mm程度の移動を一度だけ行う予定で、速度は遅くても構いません、とにかく移動できればよいのですが。

  • 真空放電の可能性について

    いつもお世話になっております。 どなたかご教授願います。 真空チャンバー内に20P端子台(20A)を置き、その端子台に500W、単相200V のカートリッジヒータの配線を接続します。(1Pに付きヒータ2個接続)この 時、端子台の端子間で真空放電現象は発生するでしょうか? 真空度は10分くらいでで4hPaくらいに到達します。 チャンバー容積が小さくて真空ポンプの能力がある場合(5秒くらいで1hPa まで到達させる事ができる)で、端子間に絶縁バリアが無い端子台を使用 した時は真空放電の現象を確認できました。→電源側にピークtoピークで 400Vのノイズとなって現れました。 真空度と端子電圧、端子間距離における真空放電の発生具合のメカニズム、 データ、解析等をご存知な方がいましたら教えて下さい。 また、ご経験者にアドバイスを承りたく思います。 よろしくお願いいたします。