- 締切済み
真空中の金属のアウトガスについて
- みんなの回答 (1)
- 専門家の回答
みんなの回答
- Akira_Oji
- ベストアンサー率57% (45/78)
0.5Pa程度の真空度では、ステンレスのような金属では、金属内からはガスの発生はないと思います。 ただ、加工上複雑なものやねじ穴などはガスの発生源になる場合がありますので、その場合はねじ穴の先端部にアクセスするような別の穴を作ってガスが簡単に逃げることができるようにするのがいいと思います。 ベアリングのグリスは高真空用のもの(HV用で十分。UHVのものは必要ない)を使用するのをお勧めします。
関連するQ&A
- 真空チャンバ立上げ時の初期真空引きについて
容積50L程の複数の真空チャンバの立上げを行なっています。 真空チャンバ単体の漏れ検査完了後 真空ポンプ、真空配管を接続して真空引きを数十分程行い欲しい真空10Pa程度までは到達するのですが、 真空引きを終わらせて(排気バルブ閉じる)放置すると数十分で50から80Kpa程に圧力が上昇してしまいます。 接続した配管系統からまだアウトガス出て来ているのか漏れが発生しているのかが判断つかず困っています。 こういった装置 真空チャンバの立上げ時のアウトガスを抜き切るための目安の真空引き時間 または正しい手順方法を教えて欲しいです。 ちなみに仕様で装置のリークレートは5PaL/s以下であることがうたわれています。 ※OKWAVEより補足:「技術の森( 電子・半導体・化学)」についての質問です。
- ベストアンサー
- 電子部品・基板部品
- 真空環境下で使用できるフレキについて
真空チャンバー(1×10-4Pa程度)内の1部分を 水冷(もしくは空冷)する計画をしています。 その際に水(もしくは空気)を大気側から真空チャンバー内に 導入する必要がありますが、できればリジットな配管ではなく、 フレキシブルな配管を使用したいと思っています。 どのような製品が使えるのでしょうか? いろいろと検索するとベローズ関係の物が出てきますが、 できる限り柔軟性のあるものが良いと考えています。 また、真空引き用のホースは多数検索されますが、 例えば、外層のアウトガスについて規定されているものが 見つかりません。 コネクタ部のシールさえ保てれば、テフロンホースのような ものも使えると思ってよいのでしょうか? 真空についていろいろと勉強をしていますが、 まだ知見/経験ともに少なく質問をした次第です。 基本的な考え方や取り扱いメーカ等を教授頂けると助かります。 宜しくお願いします。
- 締切済み
- その他(材料・素材)
- 真空内でのフィルム固定について
真空内でのフィルムの固定方法について困っております。 真空チャンバー内にて、フィルムをジグに固定するのですが、素材が柔らかいのでメカ的なクランプができず、また、真空吸着による固定も、到達真空度がチャンバー内真空度と同圧になったと同時に落下してしまいます。(天井から吊るような固定です) 現在、粘着材による固定も検討しているのですが、自動機に応用するため、剥離性、粘着力の継続性、汚れたときの清掃方法等も考慮しなければなりません。 別途良い方法、もしくは何かよい粘着材があれば教えていただけませんか。 (ちなみにフィルムは10g程度です) 以上よろしくお願いいたします。。
- 締切済み
- FA・自動化
- 真空引き後の酸素濃度
大気圧(101330[Pa])から1000[Pa]に真空引きすることができる機器があります。機器内チャンバー雰囲気は不活性ガスで置き換えをせず、大気中と同じ組成の場合、酸素濃度は210000ppm → 2100ppmとなるのでしょうか? あいにく酸素濃度計がなく質問させてもらいました。
- ベストアンサー
- その他(FA・自動化)
- 真空容器内の圧力値の求め方
1(m)x1(m)x1(m)の真空容器の内壁に1分子層の水が吸着していたとする。 真空槽内壁に吸着していた水が全て脱離した場合、真空容器内の圧力は「(1)」になる。 ただし、水の1分子層の吸着密度は5x10^19molec・1m2、温度は20℃、吸着していた真空槽の 圧力は0であったと仮定する。 a.30 b.1.2 c.4.3x10^-3 d.0.21(Pa)
- ベストアンサー
- 物理学
- 真空放電の可能性について
いつもお世話になっております。 どなたかご教授願います。 真空チャンバー内に20P端子台(20A)を置き、その端子台に500W、単相200V のカートリッジヒータの配線を接続します。(1Pに付きヒータ2個接続)この 時、端子台の端子間で真空放電現象は発生するでしょうか? 真空度は10分くらいでで4hPaくらいに到達します。 チャンバー容積が小さくて真空ポンプの能力がある場合(5秒くらいで1hPa まで到達させる事ができる)で、端子間に絶縁バリアが無い端子台を使用 した時は真空放電の現象を確認できました。→電源側にピークtoピークで 400Vのノイズとなって現れました。 真空度と端子電圧、端子間距離における真空放電の発生具合のメカニズム、 データ、解析等をご存知な方がいましたら教えて下さい。 また、ご経験者にアドバイスを承りたく思います。 よろしくお願いいたします。
- ベストアンサー
- 機械保全
- 真空炉内(低圧下)での金属や炭素の融点の求め方を教えてください
真空炉内(10^-5Pa程度)でのSUS、チタン、炭素の融点(の求め方)を教えてください。1000度近くまで昇温しているので、蒸化を心配しています。 よろしくお願い致します
- ベストアンサー
- 化学
お礼
回答ありがとうございました。