EDX 縦軸単位 cps/kevについて

質問

エネルギー分散型X線分光分析のEDXに関する質問なのですが、
EDX分析結果のスペクトルグラフの縦軸の単位には、大体”cps”が使用されていますが、ごくたまに”cps/kev”という単位が使用されているものがあります。
これはcpsの値を試験条件の”加速電圧”で割った値なのでしょうか？
また、もしそうだとして加速電圧で割る理由（利点）は何なのでしょうか？
インターネット等で調べたのですが、結局分からずじまいでした。
教えていただけたら幸いです。
よろしくお願い致します。

回答No.1

noname#181872

逆にスペクトルグラフの縦軸の単位が”cps”の方がおかしいと思うのですが…

スペクトルグラフの横軸は検出器で検出されたX線のエネルギーですよね。
例えばKα線が約1.74keVのエネルギーを持つケイ素を含む試料に
X線を照射したとすると、約1.74keVを中心としたピークが検出されます。
ただ、このスペクトル、1.74keVでの値（cps）は本当に1.74keVの
エネルギーを持つX線のカウント数/秒なのでしょうか。
実際には1.739～1.741keVのエネルギーを持つX線とか、ある程度の
幅を持ったエネルギーにおさまるX線のカウント数/秒ではないかと
思います（この幅は検出器の分解能によると思います）。
そう考えると、縦軸は単なるcpsではなく、あるエネルギー幅におけるcps
つまりcps/keVとなるのではないでしょうか
（またはこのエネルギー幅を1チャンネルとした場合、cps/chなど）。

また、別の見方をすると、蛍光X線分析法で得られたスペクトルから
定量する場合、ピークからベースラインを引いて面積を求めます。
このとき、X線のエネルギーがx keVのときの実スペクトルをf(x)、
ベースラインをg(x)、両端点をa,b（b>a）とすると、
ピークからベースラインを引いて求める面積は
∫{f(x)-g(x)}dx（積分範囲はaからbまで）
となるのではないかと思います。そして、ここで求めた面積とは
試料由来のX線でX線のエネルギーa keVからb keVまでの範囲のX線の
総カウント数/秒ではないでしょうか。
そうすると、f(x)の単位は次元から考えて、cps/keVでないと
おかしくならないかな、と思いますがいかがでしょうか。