イオン銃とデガスについての疑問

このQ&Aのポイント
  • イオン銃の加速電圧とイオンエネルギーの関係について詳しく教えてください。
  • フィラメントのデガス時の電流値と通常動作時の電流値について教えてください。
  • チタンサブリメーションポンプのフィラメントのデガスの時間について教えてください。
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イオン銃のこととデガスのことについて

イオン銃では、加速電圧はV(ボルト)ですよね? いろいろな論文を見ると、図はイオンエネルギー(Ion Energy)の表示になって単位がeVになっていますが、たとえば加速電圧が1kVならイオンエネルギーは1keVなのでしょうか? この分野はあまり得意ではないので、これらのことについて詳しく教えていただけないでしょうか? もうひとつ。。。 フィラメントのデガスのことなんですが、デガスをするときの電流値は、通常動作しているときの値よりも大きいのでしょうか?それとも同じぐらいなのでしょうか? たとえば、チタンサブリメーションポンプのフィラメントのデガスは装置にもよるとは思いますが、どれぐらいの時間のデガスを行っているのでしょうか?

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回答No.1

どうも、こんにちは。 お久しぶりですね。 覚えてくれてます??? (笑) 僕も、詳しいことは分かりませんが、 加速電圧が1KVならば、イオンエネルギは1KeVとなります。 このエレクトロンボルト(eV)のeは電気素量のことで、 1.6*10^-19です。←高校物理の本にも載ってます。 なので、エネルギの単位としては、ものすごく小さな量だということがわかりますよね。 ちなみに、ここに書いたことは、下のURLに書いてます(笑)。 あと、フィラメントのデガスって、何のことですか? よかったら教えてください。 まあ、僕は学生なんですけど、同じような実験をしているということで、 これからもよろしくお願いしますdesu。 それでは。(^o^)/~~

参考URL:
http://ccwww.kek.jp/info/kurashi/kurashi59.html
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質問者

お礼

ありがとうございました。 よくみるといろんな参考書にも書いてありました(恥) 装置中にあるフィラメント(イオンゲージや電子銃とか)を新しいものに交換した時や装置を大気にさらした時などに、フィラメントにたくさんお不純物が付着しています。これを取り除くためにはフィラメントに電流を流すことによって不純物を除去することで、不可欠なことです。 私は某研究所に働いていますが、あまり頭がよくないので研究所に入ってからかなり苦労しています。(周りの方はT大出身者の方ばかりで、なんでこんなに頭がいいの?って思うぐらい頭がいいです。。。私一人だけ頭が悪いので、一人浮いてる気がします。。。)学生時代にもっと勉強するべきでした。 ちなみに学生時代は超伝導の基礎的なことをやっていました。現在はスパッタをやっているところです。これからもよろしくお願いします。

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