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水晶発振式膜厚コントローラーと触針式表面形状測定器

水晶発振式膜厚コントローラーと触針式表面形状測定器の仕組みと原理について調べています。しかし、ホームページや大学の図書館を探したのですが参考文献が見つかりません。どなたか参考になるホームページか参考文献を教えていただけるでしょうか? 宜しくお願いします。

  • 科学
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質問者が選んだベストアンサー

  • ベストアンサー
  • dolphino
  • ベストアンサー率46% (56/121)
回答No.1

どのレベルで知りたいのかによって答えが違うのでしょうが、「水晶発振式膜厚コントローラー」や「触針式表面形状測定器」で検索して出てくる商品の説明では不足ということですよね。 前者は水晶振動子やQCMで検索すると分かるかも。 後者は私もよく分かりませんが、AFMの簡易版かな。

kansaifeet
質問者

お礼

投稿していただきありがとうございます。さっそく調べてみます。また私は金蒸着の方法を調べていてこの「水晶発振式膜厚コントローラー」と「触針式表面形状測定器」にいきつき調べてみようと思いました。  そして、最後に重ねて御礼を申し上げます。有難う御座いました。

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